在光刻工序中，温度控制非常重要。哪怕温度只变化半度，都可能影响线条的宽度。而如果加热温度过高，会导致光阻材料变得过硬，从而难以被显影剂溶解，进而导致不必要的缺陷。
至于那些红外灯，它们并非单纯的加热器，而是真正的工艺工具。
真正重要的因素
我们设计的红外灯能够发出短波红外线，使光阻材料能快速且均匀地吸收热量。这样就能实现快速的升温过程，同时将温度波动控制在±0.1℃以内。此外，该设备的发射器还配备了稳定的电源供应，以确保输出功率的稳定性。该设备适用于1级到100级的洁净室环境，不会产生任何颗粒物。其使用寿命可达5,000小时以上，且功率下降幅度不到5%，可以全天候运行而无需停机维护。
为什么这很重要
软烘烤过程主要用于让光阻材料更好地附着在基板上，并去除其中的溶剂。而硬烘烤则有助于保持蚀刻掩模的完整性。有了这种灯光，就可以精确控制每批产品的加热温度。相同的温度曲线可以在不同的晶圆或批次之间保持一致，从而确保CD值的精确控制和更高的成品率。
由于该灯光只加热目标物体本身，而不是周围的结构，因此能耗更低。此外，由于不需要频繁更换灯泡，也就减少了工艺过程中的中断和废品率。
需要注意的事项
必须确保灯泡与反应室的几何结构以及石英窗的透光曲线相匹配。否则，反射率和热点问题就会破坏温度的均匀性。此外，还需要检查连接器的类型、电压以及冷却系统是否正常。
另外，还需要定期校准温度计和灯泡的输出功率。只有当整个系统都处于良好状态时，灯泡才能发挥最佳作用。