Làm thế nào để tăng tốc độ làm nóng trong nhà máy sản xuất chip?
Nếu bạn đang vận hành quy trình xử lý wafer hoặc CVD, bạn chắc hẳn đã biết rằng các bóng đèn sưởi chính là yếu tố quan trọng nhất trong toàn bộ quy trình này. Nhưng điều quan trọng là: trong một nhà máy sản xuất chip hiện đại, bạn không thể chấp nhận việc sử dụng những bóng đèn sưởi kém chất lượng. Bạn cần những nguồn nhiệt có khả năng kết nối với hệ thống điều khiển kỹ thuật số. Bạn cần có thể theo dõi tình trạng nhiệt độ một cách tức thời, chứ không thể chỉ dự đoán một cách mơ hồ.
Chi tiết về bóng đèn UHP
Khi chế tạo những bóng đèn này, mục tiêu của chúng ta rất đơn giản: tạo ra nguồn nhiệt chính xác ở vị trí cần thiết, mà không gây ra bất kỳ tác động xấu nào lên bề mặt wafer. Đó là lý do tại sao chúng ta sử dụng thạch anh tổng hợp chất lượng cao. Loại thạch anh này giúp ngăn chặn sự thoát khí ra ngoài. Trong môi trường phòng sạch, đây là yêu cầu cơ bản. Nếu bạn đang làm việc với wafer có kích thước 300mm, bạn chắc hẳn muốn đạt được mật độ năng lượng cao. Chúng tôi sử dụng tia hồng ngoại bước sóng ngắn vì loại tia này có khả năng xuyên qua vật liệu một cách nhanh chóng. Điều này giúp giảm thời gian khởi động, từ đó giúp quy trình diễn ra nhanh hơn.
Hãy ngừng đoán mò và bắt đầu theo dõi
“Công nghiệp 4.0” là một thuật ngữ hay, nhưng đối với chúng tôi, nó chỉ đơn giản là việc sử dụng dữ liệu để giúp mọi thứ diễn ra dễ dàng hơn. Chúng tôi kết nối những bóng đèn này vào hệ thống điều khiển PLC, để bạn có thể theo dõi điện áp và mức tiêu thụ năng lượng. Điều này rất hữu ích. Thay vì phải thay thế bóng đèn theo lịch trình – điều vô ích và có thể gây ra nhiều rủi ro – bạn có thể biết chính xác khi nào bóng đèn bắt đầu suy giảm chất lượng. Bạn có thể thay thế chúng ngay trước khi chúng hoàn toàn hỏng. Đó chính là cách thay thế dựa trên dữ liệu.
Ngoài ra, bạn còn có thể theo dõi sự phân bố nhiệt trên bề mặt wafer trong quá trình sản xuất. Như vậy, bạn sẽ giảm được lượng chất thải và tránh được nhiều rắc rối không cần thiết.
Những điều bạn cần biết về những rủi ro liên quan
Thực tế là, những bóng đèn UHP công suất cao tạo ra lượng nhiệt rất lớn, nhưng chúng lại tiêu thụ rất nhiều năng lượng. Hãy kiểm tra hệ thống dây điện của bạn. Đảm bảo rằng các đầu nối có khả năng chịu được dòng điện cao nhất. Nếu không, bạn sẽ gặp phải tình trạng giảm điện áp, điều này sẽ ảnh hưởng đến kết quả sản xuất của bạn. Đừng quên vấn đề làm mát nữa. Nếu hệ thống của bạn không thể xử lý được lượng nhiệt sinh ra, nhiệt độ trong quy trình sản xuất sẽ bắt đầu tăng lên. Chúng tôi thiết kế những bóng đèn này để thay thế cho các thiết bị hiện có của bạn. Chỉ cần đảm bảo rằng bước sóng của chúng phù hợp và chất lượng thạch anh đạt tiêu chuẩn là được. Nếu hai yếu tố này được đáp ứng, phần mềm kỹ thuật số sẽ giúp xử lý phần còn lại.