Trong quy trình khắc bằng phương pháp in thạch bản, bước nung không chỉ là một khoảng dừng trong quy trình sản xuất mà còn là mốc quan trọng để đảm bảo chất lượng sản phẩm. Nếu nhiệt độ nung không ổn định, điều đó sẽ ảnh hưởng đến độ rộng của các đường khắc trên bề mặt wafer. Nếu quá trình nung không diễn ra đồng đều, các tạp chất sẽ xuất hiện trên bề mặt wafer. Khi nguồn nhiệt bị hạn chế, chiếc đèn nung cần phải duy trì độ ổn định cao trong suốt quá trình nung, từng ngày một, mà không gây ra sự biến đổi nào.
Độ chính xác cao nhờ tia hồng ngoại: Chúng tôi sử dụng tia hồng ngoài cự ly ngắn để tạo ra nguồn nhiệt ổn định, vì loại tia này phản ứng nhanh và cho phép kiểm soát nhiệt độ một cách chính xác. Điều này giúp tạo ra môi trường nhiệt ổn định ở mức dưới một milimét, từ đó đảm bảo sự đồng đều trong toàn bộ khu vực nung. Trên thực tế, chất phủ cảm quang nhận được lượng năng lượng ổn định, từ lần này sang lần khác, từ lô sản phẩm này sang lô sản phẩm khác.
Hệ thống này được thiết kế để hoạt động trong môi trường phòng sạch đạt tiêu chuẩn Class 1–100. Các vật liệu và linh kiện được chọn lựa kỹ lưỡng nhằm giảm thiểu sự hình thành các hạt bụi. Điều này chính là yêu cầu cần thiết cho quy trình sản xuất.
Tại sao hệ thống này phù hợp với quy trình nung trong ngành bán dẫn? Điều mà chúng ta cần ở đây không phải là nhiệt độ cao hơn, mà chính là sự ổn định trong quá trình nung. Chiếc đèn nung này giúp kiểm soát nhiệt độ một cách chính xác, từ đó giảm thiểu việc phải sửa chữa hoặc điều chỉnh lại quy trình do sự biến đổi nhiệt độ. Quá trình nung diễn ra nhanh chóng, giúp rút ngắn thời gian sản xuất, nhưng vẫn đảm bảo độ ổn định.
Môi trường nhiệt được kiểm soát chặt chẽ, giúp ngăn chặn sự oxy hóa và ảnh hưởng của độ ẩm lên chất phủ cảm quang. Việc sử dụng năng lượng cũng được giảm thiểu nhờ vào hiệu suất gia nhiệt cao của đèn, cùng với thiết kế bộ phát sáng có tuổi thọ cao. Kết quả là chất lượng sản phẩm được đảm bảo ổn định và tỷ lệ sản phẩm đạt chuẩn cũng được nâng cao.
Hướng dẫn lắp đặt và vận hành: Những chiếc đèn này có thể được lắp đặt một cách dễ dàng, nhưng bạn cần đảm bảo rằng các thiết bị đi kèm và hệ thống thông gió hoạt động tốt để duy trì môi trường nhiệt ổn định. Bạn cần một khoảng thời gian ngắn để điều chỉnh các thông số sao cho phù hợp với loại chất phủ cảm quang và vật liệu mà bạn sử dụng.
Chiếc đèn sẽ hoạt động tốt nhất khi áp suất trong buồng và dòng khí luôn nằm trong phạm vi được quy định. Nếu những yếu tố này thay đổi, độ ổn định của môi trường nhiệt vẫn có thể bị ảnh hưởng, ngay cả khi hệ thống điều khiển đèn hoạt động tốt. Hãy chỉ định kích thước wafer, dải nhiệt độ nung và cấp độ phòng sạch mà bạn muốn sử dụng, chúng tôi sẽ thiết lập các thông số phù hợp.