На етапі літографії процедура випалювання не є просто перервою в процесі – це справжня межа, яка розділяє окремі етапи виробництва. Якщо температура випалювання змінюється, це впливає на контроль ширини ліній на поверхні пластини. Якщо процедура випалювання не є однорідною, на поверхні пластини з’являються небажані включення. Коли термічний бюджет обмежений, лампа для випалювання повинна зберігати стабільність температури на всій площі пластини, день за днем, без будь-яких змін чи додаткових частинок.
Точність інфрачервоного опромінення: контроль термічного поля на рівні менше міліметра
Ми створили лампу для контрольованого випалювання на основі короткохвильового інфрачервоного випромінювання, оскільки воно дозволяє швидко досягати потрібної температури та забезпечує точний контроль над температурою. Це дозволяє створити термічне поле на рівні менше міліметра, що забезпечує однорідність на всій площі пластини. Насправді, фоторезист отримує однакову кількість енергії при кожному процесі випалювання.
Система розроблена для роботи в чистих приміщеннях класу 1–100; матеріали та ущільнювачі обрані так, щоб мінімізувати кількість частинок у повітрі. Саме це необхідно для правильного функціонування процесу.
Чому це підходить для процесу випалювання напівпровідників
Насправді тут не потрібно більше тепла – потрібна лише однорідність процесу. Лампа забезпечує точний контроль температури під час випалювання фоторезисту, що дозволяє уникнути необхідності повторного виконання процедури та змін, спричинених тепловими коливаннями. Процес випалювання відбувається швидко, що скорочує час виконання процедури, але при цьому температура не виходить за межі допустимих значень.
Контрольована атмосфера запобігає окисленню та змінам вологості, що можуть вплинути на поведінку фоторезисту. Витрати енергії зменшуються, оскільки лампа нагріває лише потрібну ділянку пластини з високою ефективністю. Довговічність лампи також сприяє подовженню часу між процедурами випалювання. Результатом є стабільні параметри продукції та прогнозований рівень вихідної продукції.
Інструкції з встановлення та експлуатації
Ці лампи легко інтегруються в устаткування, але потрібно використовувати відповідні термічні пристрої та належну систему вентиляції для контролю атмосфери. Потрібен короткий час на налаштування параметрів лампи відповідно до вашого типу фоторезисту та підложки.
Лампа працює найкраще, коли тиск у камері та потік газу знаходяться в заданих межах. Якщо ці параметри змінюються, однорідність процесу може порушуватися, навіть якщо контроль лампи є точним. Вкажіть розмір пластини, діапазон температур випалювання та клас чистого приміщення – ми налаштуємо лампу відповідно.