На лінії літографії все складно – навіть незначна зміна температури у півградуса може порушити параметри ширини ліній на пластині. Якщо ж температура занадто висока, резистент стає настільки жорстким, що заважає процесу обробки, і це призводить до несподіваних наслідків.
А щодо інфрачервоних ламп… Це не просто нагрівачі – це справжні інструменти для процесу літографії.
Що насправді має значення
Ми створюємо лампи, які використовують короткохвильове інфрачервоне світло; таким чином резистент швидко поглинає тепло. Це забезпечує швидке нагрівання, мінімальну затримку та однорідність температури по всій поверхні пластини – приблизно ±0,1°C. Випромінювач розташовується на стабілізованому джерелі живлення, що забезпечує стабільну продуктивність. Лампи призначені для використання у чистих кімнатах класу 1–100, без утворення частинок. Очікується термін служби понад 5 000 годин із зниженням продуктивності менше ніж на 5%. Лампи можна використовувати 24/7 без перерв.
Чому це важливо на лінії
Плавне нагрівання сприяє кращому зчепленню резистенту з поверхнею пластини та видаленню розчинників. Жорстке нагрівання забезпечує стабільність маски для етchingу. Завдяки цим лампам можна контролювати температуру для кожної партії продукції. Однакий профіль температури забезпечує однорідність результатів обробки для кожної пластини та кожної партії продукції. Це дозволяє контролювати параметри обробки без припущень.
Енергоспоживання зменшується, оскільки лампа нагріває саме об’єкт обробки, а не його околиці. Кількість замін ламп зменшується, що, у свою чергу, зменшує кількість відходів.
На що потрібно звернути увагу
Необхідно підібрати лампу відповідно до геометрії камери та характеристик кварцового скла. Інакше може виникнути проблема з однорідністю температури. Також необхідно перевірити тип з’єднання, напругу та систему охолодження відповідно до характеристик вашого обладнання.
Необхідно також планувати періодичну калібрацію пірометра та випромінювача. Лампа буде виконувати свою функцію лише тоді, коли всі компоненти системи будуть належним чином налаштовані.