На виробничому майданчику, випікання фоточутливого матеріалу не є необов’язковим — це специфікація. Змістіть на 1°C під час м’якого або твердого випікання, і ваш контроль CD зсунеться. Один вихід частки, і ви можете відправити партію на утилізацію. Ми розробили наші інфрачервоні лампи чіп-на-вафлі, щоб зняти цю змінність з порядку денного, відповідно до термічного поведінки, яку вимагають сучасні напівпровідникові інструменти.
Що важливо всередині Ми використовуємо випромінювання в ближньому інфрачервоному діапазоні (NIR), щоб безпосередньо передавати енергію у wafer та фоточутливий матеріал. Це забезпечує швидке, локалізоване нагрівання з низькою тепловою інерцією. У зоні процесу ви отримуєте однорідність на рівні wafer в межах ±0.1°C та повторюваність, яка дозволяє залишатися в рамках суворих термічних бюджетів. Система створена для роботи в чистих приміщеннях — готова до використання в класах 1–100 — і налаштована так, щоб стабільна робота не викликала виходу часток. У кваліфікованих установках вона працювала цілодобово без жодного незапланованого простою, і підтримує той тип точного термічного контролю, який потрібен для літографії та випікання фоточутливого матеріалу. Чому це працює в виробництві У реальному виробництві тепло повинно надходити швидко, залишатися стабільним і не залишати нічого позаду. Нагрівання NIR значно скорочує час розігріву без перевищення, тому ви скорочуєте цикли часу та підвищуєте пропускну здатність. Завдяки високій однорідності ви зменшуєте ризик проблем з краями та неоднорідності товщини — вихід на структурованих вафлях покращується. Витрати енергії є оптимізованими, оскільки нагрівання здійснюється за запитом, а втрати в режимі очікування невеликі, тому витрати на експлуатацію зменшуються. Лампи також надають вам перевірену, еквівалентну продуктивність варіант міжнародним стандартам обладнання, тому ви можете замінити їх без повторної кваліфікації всієї лінії. Що вам потрібно зробити правильно Установка зводиться до узгодження механічних та електричних інтерфейсів інструменту. Підтвердьте напругу, тип роз’єму та зазори для монтажу перед заміною. Лампа працює найкраще, коли оптичний шлях залишається чистим, а відстань до цілі не змінюється — будь-які зміщення впливають на розподіл інтенсивності. Ми включаємо примітки для застосування для вирівнювання та обробки в чистих приміщеннях, щоб ви могли підтримувати стабільний рівень часток.