
Waferyi ısınmasını bekleyerek zaman kaybetmeyi bırakın. Eğer hâlâ wafer işlemleri için sıcak hava kullanıyorsanız, aslında zamanla mücadele ediyorsunuz demektir. Sıcak hava yavaş çalışır; waferin bir şeyler olduğunu fark etmesinden önce tüm odayı ve içindeki havayı ısıtmanız gerekir. Bu durum, gününüzü boşa harcamanıza neden olur.
İnfraruj (IR) teknolojisine geçmek ise her şeyi değiştirir. Havanın ısınmasını beklemek yerine, IR enerjisi doğrudan wafere ulaşır. Aradaki fark çok büyüktür. Sıcak hava sistemleri stabil hale gelmek için dakikalar harcarken, IR sistemleri saniyeler içinde istenen sıcaklığa ulaşır.
Yüksek hacimli işlemler yapılırken bu kazanılan saniyeler “küçük avantajlar” değildir. Her vardiyada saatlerce ekstra verim sağlar.
Ayrıca, sıcak hava sistemlerinin karmaşık olduğunu da unutmayın. Isının dışarı sızmasını engellemek için devasa üfleyiciler, kanallar ve yalıtımlı kutular gereklidir. Buna karşılık IR lambaları oldukça küçüktür. Onları wafere çok yakın bir şekilde yerleştirebilirsiniz; böylece dar ve kontrol edilebilir bir ısı alanı oluşur ve böylece hızlı bir şekilde ısı artırılabilir veya azaltılabilir.
Ancak burada bir sorun var: Sadece ısıtıcıyı değiştirerek işin bitiremezsiniz. IR teknolojisi oldukça hassastır. Eğer lamba dizilimi dengeli değilse veya waferin kalınlığı uygun değilse, sıcak noktalar oluşur. Bu durum “bir tıklayarak kullanılabilen” bir sistem değildir. Hızı kontrol altına alabilmek için PID kontrollerini ayarlamanız gerekir; aksi takdirde sıcaklık kontrolünü kaybedebilir ve waferi zarar verebilirsiniz.
Yine de çoğu işletme için bu trade-off mantıklıdır. Buradaki amaç, waferi mümkün olan en kısa sürede istenen sıcaklığa getirmektir.