Bir Micro LED wafer’i temizlenip çıkarıldığı anda zaman hızla akıp gider. Kalan nem ve termal etkiler, ürünün kalitesini hızla bozar. Fotoresistin yumuşak ve sert pişirilmesi işlemleri ±0,1°C aralığında gerçekleştirilmelidir; aksi takdirde çizgi genişliği kontrolü ve yapışma özelliğinde sorunlar ortaya çıkar. Kurutma cihazının bu hassasiyeti sağlaması gerekiyor; aynı zamanda partikül üretmemesi ve çizgilerin düzenini bozmaması da önemlidir.
Bu cihazın yapması gereken şey, sıcaklığı tekrarlanabilir seviyede tutmak, hızlıca toparlanmak ve temiz kalmaktır. Micro LED wafer’lerini hızla ısıtmak ve ardından bu sıcaklığı korumak için kuvarsla izole edilmiş bir odada kısa dalga boylu kızılötesi elemanlar kullanıyoruz. Aktif alan üzerindeki sıcaklık farkı ±0,1°C civarındadır ve rampa kontrolü sayesinde termal dengeler sağlanmaktadır.
Bu cihaz, sınıf 1–100 temiz oda koşullarında çalışacak şekilde tasarlanmıştır. Pürüzsüz iç yüzeyleri ve laminar akış yapısı sayesinde partikül üretimi sıfırda kalır. Fotoresistin pişirilme süreci her parti için tutarlı olur; çünkü kontrol algoritması taşıyıcı kütle ve çevresel etkileri dengeleyerek bunu sağlar. 24 saatlik kesintisiz çalışma için gerekli güvenilirlik zaten içinde mevcuttur; üretim sürecinde herhangi bir arıza yaşanmaması garantidir.
Burada amaç verimliliği artırmaktır. Bu cihaz, kurutma ve pişirme sürelerini kısaltır, temizleme ve litografi işlemleri arasındaki bekleme sürelerini azaltır ve kenar bölgelerindeki atıkları ve çözücü birikimlerini azaltır. Cihaz hızlı bir şekilde çalıştığı ve ayarlanan sıcaklığı koruduğu için enerji tüketimi de azalır. Ayrıca bakım aralıkları da uzar; düşük termal kütle ve binlerce döngüye dayanıklı elemanlar sayesinde bu mümkün olur.
Kurulumla ilgili pratik bir bilgi: Cihazın çalışabilmesi için özel bir 240 V güç kaynağı ve temiz, kuru hava gereklidir. Cihazın boyutlarının, kullanılacağı sistemle uyumlu olması çok önemlidir; bu yüzden mekanik ve elektriksel entegrasyonu erken aşamada planlamak gerekir. Uyumun sağlanması ve işlemin doğru şekilde yürütülmesi için boyut çizimleri ve bağlantı planları sağlıyoruz.