Fabrika katında, 300mm bir wafer, fotoresist profilini sabitlemek için yumuşak pişirme işlemini bekliyor. Bir sıcak nokta, bir soğuk bölge ve çizgi genişliği kontrolünüz kaybolur. Üretim durur. Bu optik wafer işleme ısıtıcısını, bunun baştan engellenmesi için tasarladık.
Teknik olarak gerçekten önemli olan
Ünite, kısa dalga kızılötesi (SWIR) kuvars yayıcılarına dayanıyor ve enerjiyi doğrudan fotoresist ve alt tabakaya hızlı, doğrudan ve sorunsuz bir şekilde aktarıyor. Aktif alan boyunca wafer seviyesinde ±0.1°C içinde tutulan homojenlik sağlanıyor, böylece kritik pişirme adımları termal bütçe içinde kalıyor. Sınıf 1’den Sınıf 100’e kadar temizoda uyumlu ve çalışırken partikül üretmiyor. Sıcaklık tekrarlanabilirliği partiden partiye ±0.2°C’yi koruyor ve ısıtıcı plansız duruş olmadan 7/24 çalışmaya devam ediyor.
Yaptığımız işe uygun olmasının nedeni
Bu ısıtıcı, üzerinde durduğumuz dört termal kritik noktaya hitap ediyor: wafer kurutma, fotoresist yumuşak pişirme ve sert pişirme, paketleme alt dolgu ve kapsül kürleme, ayrıca sonrası temizlik sonrası kurutma.
Litoğrafide, bu sıkı homojenlik, kritik boyut (CD) ve profil hedeflerinin spesifikasyon içinde kalmasını sağlar; bu da daha az hurda ve yeniden işleme anlamına gelir. Paketlemede ise hızlı ısınma, kürleme süresini aşırı ısınma olmadan kısaltır, böylece üretim hızı artar. SWIR doğrudan ısıttığı için, bir hazneyi ısıtmaya kıyasla enerji tüketimi düşer.
İhtiyacınız olan detaylar
Kurulum, aracın mekanik ölçüleri ve soğutma döngülerine uyum sağlamakla sınırlı. Entegrasyonu kolaylaştırmak için ara yüz çizimleri ve konektör listesi sağlıyoruz.
Yayıcı ömrü 10,000 saat olarak belirlenmiştir. Bu sürenin ardından, çıkış gücünde sapma başlayabilir ve bu da homojenliği etkileyebilir; bu nedenle parça değişimini planlamanız gerekir. Bakım zamanlamasını önceden planlayın; sahada ortaya çıkmasını beklemeyin.