Het juist maken van het drogen van wafers: het gaat om reflectie
Wanneer je wafers wilt drogen, heb je warmte nodig. Maar het gaat niet alleen om ‘warmte’ – de warmte moet op de juiste manier op het oppervlak terechtkomen, elke keer weer.
De meeste mensen zien in de reflector gewoon een onderdeel van het apparaat. Ik zie het echter anders. De reflector is eigenlijk het belangrijkste onderdeel van het apparaat. Als de reflector niet goed is gekalibreerd, betaal je feitelijk om het chassis van het apparaat op te warmen, in plaats van het product zelf. Dat is veel verspilde tijd en energie.
Maximale gebruik van iedere straal
We richten ons op zogenaamde ‘view factor’. Met andere woorden: we zorgen ervoor dat de lamp en de wafer recht tegenover elkaar staan.
Door gebruik te maken van goudcoated ondergronden of hoogzuiver aluminium, kunnen we 95% van de infrarode straling rechtstreeks op de wafer dirigeren. Het is net alsof er een laser wordt gebruikt.
En dit is het beste deel: wanneer je geen energie meer verspilt, gaan de processen sneller. Je kunt de wafers snel op de juiste temperatuur brengen, waardoor de droogtijd verkort wordt. Hierdoor hoef je geen enorme oven te gebruiken die de helft van de ruimte innemt.
Passen in een moderne fabriek
Als je een slimme fabriek hebt, wil je gegevens die je echt kunt vertrouwen.
Als de reflector zijn werk goed doet, wordt de berekening simpel: de ingevoerde energie wordt omgezet in warmte op het oppervlak. Er is geen ruimte voor gokken. Dit maakt het leven van je PLC een stuk gemakkelijker, want het kan de temperatuur nauwkeurig regelen zonder te moeten vechten tegen energieverlies.
We hebben deze onderdelen ontworpen als eenvoudige vervangingsonderdelen, zodat ze gemakkelijk kunnen worden vervangen. Maar let wel op: controleer de alignment van de reflector goed. Zelfs een kleine afwijking kan leiden tot ‘koude plekken’ op de wafer. Eén kleine fout en je hebt een batch met defecte wafers.
De nadelen
Er zijn echter ook nadelen.
Wanneer je de warmte zo intensief concentreert, wordt de kwartsomhulling van de lamp zwaar belast. Dat veroorzaakt veel stress op het materiaal.
Controleer dus goed of de koelventiëlers goed functioneren. Zorg ervoor dat ze de hitte rondom de lamp kunnen afvoeren. Anders kunnen de contactpunten van de lamp eerder kapotgaan dan nodig is. Houd de lamp koel, en alles komt goed.