Hoe je een Class 100-reinruimte echt schoon houdt (terwijl je de temperatuur verhoogt)
Wanneer je in een Class 100-omgeving werkt, kun je het je niet veroorloven dat er ook maar één stofdeeltje aanwezig is. Alleen al één klein stofdeeltje of wat gas dat vrijkomt uit een verwarmingselement, kan ervoor zorgen dat je wafer of optische componenten niet meer bruikbaar zijn. Het is een nachtmerrie.
Daarom gebruiken we synthetische kwarts-infraroodlampen met hoge zuiverheid. Ze zijn speciaal ontworpen voor gebruik op het werkblad, waar ‘bijna schoon’ niet voldoende is.
Waarom kwarts belangrijk is
We gebruiken gefuseerd silica-kwarts met een hoge OH-houdbaarheid. Met andere woorden: dit materiaal breekt niet af en produceert geen microscopische deeltjes wanneer het heet wordt.
Omdat deze IR-lampen straling gebruiken om warmte over te dragen, hoef je je geen zorgen te maken over lucht die stofdeeltjes over je werkstuk blaast. Geen ventilatoren, geen wind, geen vervuiling.
De buitenlaag van het kwarts is goed afgesloten, zodat het filament niet kan oxideren. We houden de zuiverheid hoog, zodat de buis helder blijft en niet barst wanneer de temperatuur steeds wordt veranderd.
Het juiste setup instellen
Afhankelijk van de ruimte die je hebt op je werkblad, kunnen we de vermogen en spanning aanpassen. Als je kiest voor een lamp met een hoog vermogen, krijg je een kleinere, beter geconcentreerde verhittingszone. Let wel: zorg ervoor dat je stroomvoorziening het beginmoment van de hoge stroomsterkte aankan, anders krijg je problemen.
We gebruiken standaardconnectoren, zodat ze gemakkelijk kunnen worden geplaatst. Maar hier is één belangrijk punt: gebruik leidingen die bedekt zijn met Teflon. Als je standaard PVC-isolatie gebruikt, zal deze smelten en gassen vrijgeven zodra het warm wordt. Hierdoor raakt je hele reinruimte binnen enkele minuten vervuild.
De echte compromissen
Hogezuiverheidskwarts is erg goed in het overdragen van warmte, maar het is ook broos. Het kan geen mechanische schade verdragen. Één onhandige beweging tijdens de installatie kan al tot een gebroken buis leiden.
Bovendien concentreren deze lampen de warmte in een zeer strakke bundel. Als je niet voorzichtig bent, kan het werkblad beschadigen. Ik raad altijd aan om een speciaal koelsysteem of een reflecterende ondergrond te gebruiken. Dit zorgt ervoor dat de energie naar het onderdeel wordt geleid en dat het frame van je apparatuur niet oververhit raakt.