Op de productiefloor wordt de kwaliteit van het eindproduct bepaald door kleine verschillen in temperatuur en afmetingen, oftewel in graden en nanometers. Een lichte verandering in temperatuur van een halve graad kan al leiden tot problemen met de dikte van de laag die op het oppervlak wordt aangebracht. Bovendien kan de luchtcirculatie in een conventionele oven zorgen voor het verspreiden van deeltjes over het versgeplaatste fotoresistlaagje. De vraag is niet alleen hoe je de wafers moet drogen, maar ook hoe je dit kunt doen zonder dat er extra variabiliteit in het proces ontstaat.
Wat technisch gezien belangrijk is:
Infrarooddroging zorgt ervoor dat de stralingsenergie rechtstreeks op de wafer terechtkomt, waardoor het oppervlak en het substraat worden opgewarmd, zonder dat er veel luchtverplaatsing optreedt. Hierdoor wordt een temperatuurhomogeniteit van ±0,1°C behaald. Dit is precies wat nodig is voor betrouwbare droogprocessen. Conventionele ovens maken gebruik van verwarmde lucht, wat handig is bij complexe oppervlakken. Echter, de turbulentie kan zorgen voor meer deeltjes. Kies je infraroodsysteem dus op basis van je thermische vereisten, cyclustijd en het type substraat dat je gebruikt.
Waarom het geschikt is voor bepaalde toepassingen:
Voor lithografieprocessen werkt infrarood goed in schone kamers van klasse 1–100. Hierdoor blijft de concentratie deeltjes tijdens het drogen minimaal. Er wordt sneller een optimale temperatuur bereikt, en er blijft minder oplosmiddel achter in de laag. Conventionele ovens zijn nog steeds handig voor verpakkingsprocessen, waarbij dikke isolatiematerialen en gietmallen zachte, uniforme verwarming nodig hebben. In beide gevallen is het belangrijk dat de apparatuur 24/7 betrouwbaar werkt, zodat er geen onverwachte stilstanden optreden.
De details die belangrijk zijn:
Bij infrarooddroging is het belangrijk dat er een goede zichtlijn is en dat de emissiviteit goed wordt geregeld. Reflectoren en temperatuurfeedbacksystemen moeten worden aangepast aan de specifieke vereisten. Conventionele ovens vereisen een filteringssysteem van hoge kwaliteit en regelmatige controle van de luchtcirculatie. Infraroodmodules passen meestal in een kleiner formaat, maar controleer altijd de stroomsterkte, spanning en compatibiliteit van de connectors met je bestaande apparatuur.
Kies de methode die het beste past bij de risico’s die je niet wilt lopen: thermische afwijkingen of deeltjescontaminatie.