Wanneer de thermische controle niet goed werkt, neemt de efficiëntie af. Een grondige reiniging achterlaat microdruppeltjes, en die kleine druppeltjes vormen in feite een uitnodiging voor defecten. De apparaten die worden gebruikt om het fotoresistent te verhitten, kunnen wel de gewenste temperatuur aangeven, maar over het hele batch verschilt deze temperatuur. Dit resulteert in ongelijkmatigheden in de dikte van het materiaal en in het ontstaan van oneffenheden. De oplossing is niet om simpelweg meer warmte toe te passen – het gaat om warmte die op een gecontroleerde manier wordt toegepast.
Wat er echt belangrijk is We hebben de NIR-opdrukker ontworpen met behulp van zenders met kortegolflengte infraroodlicht dat is afgestemd op de absorptie door silicium. Hierdoor kan de energie het materiaal binnendringen zonder dat de oppervlakken beschadigen. De respons is binnen enkele seconden, en de gelijkmatigheid over het hele oppervlak ligt bij ±0,1°C. De ruimte waarin de opdrukker zich bevindt, voldoet aan de eisen van een klasse 1–100 schone ruimte. Er worden materialen gebruikt die weinig gas afgeven, en er is een laminerale stroming die zorgt voor een minimum aan de vorming van deeltjes. De herhaalbaarheid wordt gegarandeerd door gecalibreerde sensoren en een gesloten regelingssysteem. Hierdoor blijft elke verhittingsprocedure consistent.
Waarom het werkt in praktische toepassingen Bij lithografie zorgt de NIR-opdrukker ervoor dat het fotoresistent op de juiste manier wordt verhit. Hierdoor wordt de uniformiteit van het materiaal behouden. Tijdens het reinigen en drogen worden alle restanten vocht verwijderd, zodat er minder herwerkingen en afval ontstaat. Bij het verpakken zorgt de opdrukker voor snelle en stabiele droging, waardoor de productietijd wordt verkort. De energieverbruik wordt verminderd, omdat de warmte alleen wordt toegepast wanneer dit nodig is. De betrouwbaarheid van de opdrukker is bewezen in de praktijk: de apparaten werken 24/7 zonder onverwachte stilstanden, en de onderhoudsintervallen zijn zeer lang.
De praktische aspecten De NIR-opdrukker kan worden geïnstalleerd in bestaande systemen of als zelfstandig apparaat. Het is belangrijk om de optische route schoon en recht te houden. Zorg ervoor dat er genoeg ruimte is rondom het raam van de zender, en zorg dat het gebruikte materiaal past bij het spectrum van de zender. Sommige polymeren absorberen infraroodlicht op een andere manier. Het kan nodig zijn om de instellingen aan te passen wanneer je een andere soort fotoresistent gebruikt. Dokumenteer de nieuwe instellingen. Eenmaal goed ingesteld, blijft het proces onder controle.