제조 공정에서 먼지를 막는 방법
만약 100등급의 클린룸을 운영하고 있다면, 아마도 이미 알고 있겠지만, 아주 작은 먼지 입자나 가스도 전체 제품을 망칠 수 있습니다. 일반적인 가열 요소들은 이러한 상황에서는 전혀 쓸모가 없습니다. 그런 요소들은 부서지거나 표면에서 떨어져 나가며, 유해한 물질들이 작업 대상 위로 새어 나옵니다.
그래서 저희는 IR 램프에 고순도 합성 석영을 사용합니다. 석영은 화학적으로 불활성이므로, 어떤 물질과도 반응하지 않습니다. 그 덕분에 웨이퍼와 기판이 깨끗하게 유지됩니다. 간단하죠.
왜 석영이 중요한가?
저희는 고순도 실리카 소재를 사용하는데, 이는 열에 잘 견딜 수 있기 때문입니다. 빠른 건조 과정에서 대부분의 재료들은 깨지지만, 석영은 그렇지 않습니다. 석영은 균일하게 팽창합니다. 또한, 모든 유기 결합제와 저품질의 충전제도 제거되었습니다. 왜냐하면 램프가 작동하기 시작하자마자 연기나 미세한 먼지가 표면에 떨어지는 것을 막아야 하기 때문입니다.
깨끗함을 유지하는 기술
진짜 비결은 밀폐성에 있습니다. 저희는 특수한 전극과 진공 밀폐 구조를 사용하여, 필라멘트의 산화가 공기 중으로 새어 나가지 않도록 합니다. 저품질의 접착제나 간편한 방법은 사용하지 않습니다. 모든 부품들은 서로 용융되거나 기계적으로 고정됩니다.
단, 주의해야 할 점이 있습니다. 전력 밀도를 잘 관리해야 합니다. 이러한 고출력 IR 램프들은 작은 공간에 많은 열을 발생시킵니다. 만약 공기 순환이 충분하지 않으면, 지지대가 변형될 수 있습니다. 따라서 냉각팬이 램프가 방출하는 열을 제대로 감당할 수 있는지 확인해야 합니다.
제조 공정에 적용하는 방법
가장 좋은 점은, 이 램프들이 일반적인 IR 히터를 대체할 수 있다는 것입니다. 이 램프들은 단파 복사를 사용하여 기판 내부까지 열을 전달하여 내부부터 건조시킵니다. 매우 빠릅니다. 그 덕분에 클린룸의 청결성을 해치지 않으면서도 더 많은 제품을 처리할 수 있습니다.
한 가지 팁을 드리자면, 안정적인 PID 컨트롤러를 사용하세요. 그렇게 하면 불필요한 전압 스파이크로 인해 필라멘트가 손상되는 것을 막을 수 있습니다.