마이크로 LED 웨이퍼가 세척 과정을 마치는 순간부터 시간과의 싸움이 시작됩니다. 남아 있는 수분과 열적 영향으로 인해 제품의 품질이 빠르게 저하됩니다. 포토레지스트의 소프트 베이크와 하드 베이크 과정에서는 온도를 ±0.1°C 이내로 유지해야 합니다. 그렇지 않으면 선의 굵기 조절 및 접착력에 문제가 생길 수 있습니다. 건조 히터는 입자가 발생하지 않으면서도 정확한 온도를 유지해야 합니다.
간단히 말해, 이 장비는 온도를 반복적으로 조절하고 빠르게 회복시키며, 항상 깨끗한 상태를 유지해야 합니다. 우리는 석영으로 된 격리된 챔버 내에 단파 적외선 소자를 사용하여 웨이퍼를 빠르게 목표 온도까지 올린 다음 그 온도를 유지합니다. 활성 영역 전체의 온도 편차는 ±0.1°C 이내이며, 램프 컨트롤을 통해 열적 변동을 최소화합니다.
이 장비는 클래스 1–100급 청정실에서 사용할 수 있도록 설계되었습니다. 내부는 매끄럽게 처리되어 있으며, 층류 형태의 공기 흐름을 통해 입자 발생을 완전히 차단합니다. 포토레지스트의 베이크 과정도 일관된 결과를 보여주는데, 이는 제어 알고리즘이 운반체의 질량과 주변 환경의 변화를 보상하기 때문입니다. 24시간 연속 가동이 가능하도록 설계되어 있으며, 생산 중에는 계획되지 않은 다운타임이 전혀 없습니다.
이 장비는 수율을 높이는 데 도움을 줍니다. 건조 및 베이크 과정을 단축시켜 세척과 리소그래피 사이의 대기 시간을 줄이고, 가장자리 부분의 결함이나 용매 잔여물로 인한 폐기물도 줄입니다. 히터가 빠르게 작동하고 설정된 온도를 유지하기 때문에 에너지 사용량도 줄어듭니다. 또한, 낮은 열용량과 수천 번의 작동을 견딜 수 있는 소자들 덕분에 유지보수 간격도 길어집니다.
설치 시 주의할 점은, 히터에는 240V의 전원이 필요하며, 깨끗하고 건조한 공기가 공급되어야 한다는 것입니다. 장비의 크기가 처리 장비와 잘 맞도록 미리 계획해야 합니다. 우리는 적절한 치수와 연결 방식을 제공하여 장비가 제대로 작동할 수 있도록 도와줍니다.