MEMS 센서 웨이퍼 건조 히터

방사열을 이용해 MEMS 웨이퍼를 효과적으로 건조시키는 방법 MEMS 센서 웨이퍼를 건조하는 것은 꽤 신중한 작업입니다. 수분을 제거하기 위해서는 충분한 열이 필요하지만, 너무 과도한 열을 가하면 그 미세한 구조들이 손상될 수 있습니다. 그래서 우리는 금으로 코팅된...