マイクロLEDウェーハが洗浄から取り出された瞬間から、時間との戦いが始まります。残留する水分や熱影響によって、製品の品質が急速に低下してしまいます。フォトレジストのソフトベイクおよびハードベイクでは、温度を±0.1℃以内に保つ必要があります。そうでなければ、線幅の制御や接着性に問題が生じてしまいます。乾燥ヒーターは、粒子を発生させず、かつウェーハの温度を安定させる精度を持っていなければなりません。
要するに、この装置は、一定の温度を維持し、迅速に温度を回復し、常に清潔な状態を保つことが求められます。私たちが開発したマイクロLEDウェーハ用乾燥ヒーターは、石英で隔離されたチャンバー内にある短波長の赤外線素子を使用して、ウェーハを迅速に所定の温度に持っていき、その後も温度を安定させます。活性領域全体の温度均一性は±0.1℃であり、温度制御によって熱的な変動を最小限に抑えています。
この装置は、クラス1～100のクリーンルーム環境での使用を前提に設計されており、内部は滑らかで、層流状態を維持することで粒子の発生を防ぎます。制御アルゴリズムにより、キャリアの質量や周囲の環境変化にも対応できるため、異なるロット間でもフォトレジストのベイクプロファイルが一定に保たれます。24時間連続運転にも耐えられるように設計されており、実際に停止時間は一切ありません。
生産効率を高めるために、このヒーターは乾燥やベイクの時間を短縮し、洗浄とリソグラフィーの間の待ち時間を削減します。また、端辺部分の不良や溶剤の残留によるロスも減少します。ヒーターが迅速に動作し、設定温度を超えないため、エネルギー消費も削減されます。さらに、熱容量が低く、何千回もの稼働に耐えられる部品を使用しているため、メンテナンス間隔も長くなります。
設置に関する実用的な注意点としては、ヒーターには専用の240Vの電源が必要であり、また、パージ用の空気も清潔で乾燥している必要があります。装置のサイズを取り扱い装置のインターフェースに合わせることが不可欠なので、機械的・電気的な統合を事前に計画する必要があります。適切なサイズや接続仕様を確認するために、寸法図やピン配置図も提供しています。