ウェーハが加熱されるのを待つ時間の無駄をやめましょう。
もし今でも熱風を使ってウェーハの処理を行っているなら、それはまるで時間と戦っているようなものです。熱風の場合、チャンバ全体やその中の空気を加熱するのに時間がかかります。ウェーハが何かが起きていることに気づく前に、すでに多くの時間が失われてしまいます。これは大きなロスです。
一方、赤外線を利用すると全く状況が変わります。空気が温まるのを待つ代わりに、赤外線はエネルギーを直接ウェーハ表面に送り込みます。その効果は驚異的です。熱風式の場合、安定するのに数分かかるかもしれませんが、赤外線式の場合は数秒で目的の温度に到達します。
大量のウェーハを処理する際、この数秒の節約は決して小さなメリットではありません。毎シフトにおいて、何時間もの生産時間が節約されます。
また、装置自体も違います。熱風式の装置は重くて大きく、熱が漏れないようにするために巨大な送風機やダクト、断熱箱が必要です。一方、赤外線ランプは非常に小さいので、ウェーハのすぐ近くに置くことができ、迅速に温度を調整できます。
ただし、注意点もあります。単にヒーターを交換するだけでは不十分です。赤外線は強力なので、ランプの配置が適切でなかったり、ウェーハの厚さが不均一だったりすると、熱の集中した部分ができてしまいます。つまり、「プラグインするだけ」では済まないのです。PIDコントローラを調整して、適切な温度を維持する必要があります。そうしないと、温度が上がりすぎてウェーハが破壊されてしまう可能性があります。
それでも、ほとんどの場合、この利点の方が大きいです。重要なのは、ウェーハをできるだけ早く所定の温度にし、迅速に出荷することです。