ברגע ששבב ה-Micro LED יוצא מתהליך הניקוי, הזמן כבר עובד נגדנו. לחות עודפת והבדלי טמפרטורה פוגעים באיכות השבב במהירות. יש צורך שתהליכי החימום של הפוטורזיסט יתבצעו בטמפרטורה של ±0.1°C בלבד; אחרת עלולים להופיע בעיות בשליטה על עובי הקווים ובאיכות ההדבקה. החימום חייב להתבצע בדיוק רב, מבלי ליצור חלקיקים ומבלי לפגוע באיכות השבב.
מה שהמכשיר צריך לעשות, בפשטות, הוא לשמור על טמפרטורה קבועה, להתאושש במהירות ולהישאר נקי. יצרנו את מכשיר החימום של שבבי ה-Micro LED עם שימוש ברכיבי אינפרא-אדום בעלי גלים קצרים, בתוך תא מבודד בקוורץ – כך שהשבב יגיע לטמפרטורה הרצויה במהירות, ואז יישאר שם. האחידות של הטמפרטורה בכל שטח השבב היא ±0.1°C, ומערכת השליטה מבטיחה שהטמפרטורה תישאר קבועה.
המכשיר תוכנן לשימוש בחדרי ניקיון מסוג Class 1–100, עם חללים מלוטשים וגאומטריה של זרימת אוויר אחידה – כך שלא ייווצרו חלקיקים. תהליכי החימום של הפוטורזיסט נשארים עקביים ממחזור למחזור, מכיוון שאלגוריתם השליטה מפצה על שינויים במסת החומר ובטמפרטורת הסביבה. האמינות של המכשיר לתפעול 24 שעות ביממה היא מובנית בו – אנו מבטיחים שלא יהיו הפסקות בתהליך הייצור.
המכשיר עוזר להקטין את זמן החימום, לקצר את הזמן שבין תהליך הניקוי לבין הליתוגרפיה, ולהפחית את כמות החומרים המיותרים. צריכת האנרגיה יורדת, מכיוון שהמכשיר פועל במהירות ושומר על הטמפרטורה הרצויה. גם מרווחי התחזוקה נמתחים – המסה התרמית הנמוכה והרכיבים שעומדים בעומס של אלפי מחזורים תורמים לכך.
נקודה חשובה בנוגע להתקנה: המכשיר דורש חיבור חשמלי של 240 V, וכן אוויר נקי ויבש כדי לשמור על סביבה נקייה. חשוב מאוד שהמכשיר יתאים לממשק של המכונה שבה הוא נמצא – לכן יש לתכנן את ההתקנה המכנית והחשמלית מראש. אנו מספקים שרטוטים ומפות של חיבורי המכשיר, כדי לוודא שההתקנה תתבצע כראוי.