בחדר הייצור, המפעל אינו מחכה לשום דבר. כל שינוי בטמפרטורה במהלך תהליך האפייה עלול לגרום לשינויים בממדים החשובים של הוופרים. הוופרים נזרקים, ותהליך הליתוגרפיה נעצר. יש צורך בפלטפורמת חימום שתפעל כראוי, ולא כזו שתישאר לא פעילה רוב הזמן.
מה חשוב מבחינה טכנית? אנו שומרים על אחידות הטמפרטורה על רמה של ±0.1°C לאורך כל השטח של הוופר, כך שניתן לשמור על הטמפרטורה הרצויה ולשלוט בה בצורה טובה. קרינת אינפרא-אדום בגלים קצרים ובינוניים, בשילוב עם מודולים העשויים קוורץ וסיבי פחמן, מאפשרים שליטה מהירה בטמפרטורה, עם עיכובים מינימליים. זה מאפשר יצירת פרופילי חימום יציבים בטמפרטורות של 90°C עד 150°C, ממסלול למסלול.
הציוד פועל בצורה תקינה – ללא שום בעיות – כך שניתן להשתמש בו בחדרי ייצור מסוג Class 1–100. בפעולה 24/7, אין צורך בהפסקות לא צפויות, ותקופת השימוש הממוצעת עולה על 30,000 שעות. החזרתיות של הציוד נשמרת בזכות בקרה בלולאה סגורה, אחסון של ההגדרות הנדרשות, ורישום מדויק של הטמפרטורות.
למה זה עובד טוב בליתוגרפיה? הטלורנסים בעיבוד הפוטורזיסט הם קטנים מאוד, וכולם יודעים זאת. המערכת שומרת על הטמפרטורה בטווח צר מאוד, כך שהחימום הרך מוציא את החומרים המרוחבים בצורה אחידה, והחימום החזק מאפשר יצירת שכבה אחידה, ללא חימום יתר או חימום לא מספיק. זה מוביל לפחות עבודות תיקון, לשיעורי ייצור גבוהים יותר, ולביצועים צפויים.
שימוש באנרגיה מופחת בזכות בקרה באמצעות אותות פולסיים ושימוש בחום שנאסף, כך שניתן להפחית את עלויות התפעול מבלי להאט את קצב הייצור.
כמה פרטים פרקטיים: ההתקנה דורשת מערכת כיבוי כוח מיוחדת. זה מאפשר שליטה בשינויים הפתאומיים בטמפרטורה, ומגן על יציבותה במהלך שינויים ברשת החשמל. החלפת המודולים נעשית ללא צורך בכלים מיוחדים, אך אינטגרציה מלאה עם המערכות הקיימות דורשת בדרך כלל בדיקה קצרה – רק כדי לוודא שההגדרות נכונות ושהנתונים נרשמים כראוי.
יש לתכנן זמן של שעתיים להגדרת הציוד, ולאחר מכן 24 שעות של פעולה כדי לוודא שאין שינויים בטמפרטורה.