در لحظهای که ویفر میکروLED از فرآیند تمیزکاری خارج میشود، زمان شروع به گذر کردن است. رطوبت باقیمانده و تغییرات دمایی، به سرعت به کیفیت ویفر آسیب میزنند. فرآیندهای پختن فوتورزیست باید در محدوده ±۰.۱ درجه سانتیگراد انجام شوند؛ در غیر این صورت، کنترل عرض خطوط و چسبندگی مواد روی سطح ویفر دچار اختلال میشود. هیتر مورد استفاده باید این دقت را بدون ایجاد ذرات اضافی و بدون اختلال در ریتم فرآیند، فراهم کند.
کاری که این دستگاه باید انجام دهد، این است که دما را تنظیم کند، به سرعت به حالت تعادل برسد و سطح آن تمیز بماند. ما هیتر مورد استفاده برای خشک کردن ویفرهای میکروLED را با استفاده از عناصر مادون قرمز کوتاهموج در یک محفظه ایزوله از کوارتز ساختیم؛ این روش به خشک شدن سریع ویفر کمک میکند. یکنواختی دما در سطح ویفر در محدوده ±۰.۱ درجه سانتیگراد است، و کنترل دما نیز به خوبی انجام میشود.
این دستگاه برای استفاده در اتاقهای پاکیزه کلاس ۱ تا ۱۰۰ طراحی شده است؛ داخل آن صیقل داده شده و جریان هوا نیز به گونهای است که ایجاد ذرات اضافی صفر باشد. پروفایلهای پختن فوتورزیست نیز در هر بار تولید یکنواخت باقی میماند؛ زیرا الگوریتم کنترل، جرم حاملها و تغییرات دمایی محیطی را جبران میکند. قابلیت عملکرد ۲۴ ساعته نیز در این دستگاه وجود دارد؛ ما تضمین میکنیم که در طول فرآیند تولید، هیچ توقف غیرمنتظرهای رخ نخواهد داد.
شما در حال اجرای فرآیند تولید هستید؛ این هیتر، زمان لازم برای خشک کردن ویفر را کاهش میدهد، زمان انتظار بین فرآیندهای تمیزکاری و لیتوگرافی را کم میکند، و مقدار مواد اضافی روی سطح ویفر را کاهش میدهد. مصرف انرژی نیز کاهش مییابد؛ زیرا هیتر به سرعت کار میکند و دما را بدون اختلال حفظ میکند. همچنین، فاصله زمانی لازم برای تعمیرات نیز طولانیتر میشود؛ زیرا جرم حرارتی پایین و عمر طولانی عناصر مورد استفاده، این امر را ممکن میسازد.
نکته مهمی در مورد نصب این دستگاه این است که آن به یک خط برق ۲۴۰ ولت و هوای تمیز و خشک نیاز دارد تا بتواند مسیر تخلیه هوا را حفظ کند. همچنین، سازگار کردن ابعاد دستگاه با اتصالات مربوطه ضروری است؛ بنابراین باید از همان ابتدا، نحوه اتصالات مکانیکی و الکتریکی را برنامهریزی کرد. ما نیز نقشههای ابعادی و جداول اتصالات را در اختیار شما قرار میدهیم تا اطمینان حاصل شود که دستگاه به خوبی در سیستم تولید جای میگیرد.