در خط تولید، خطوط تولید هیچگاه منتظر چیزی نمیمانند. حتی یک تغییر جزئی در دما در حین فرآیند پخت، میتواند باعث اختلال در ابعاد مهم قطعات شود؛ در نتیجه، ویفرها از بین میروند و فرآیند لیتوگرافی متوقف میشود. شما به یک پلتفرم گرمایشی نیاز دارید که بتواند به طور مداوم کار کند، نه چیزی که بیشتر روز را بیفعال باقی بماند.
از نظر فنی، چه چیزی اهمیت دارد؟
ما سعی میکنیم یکنواختی دما در سطح ویفرها را در محدوده ±۰.۱ درجه سانتیگراد حفظ کنیم؛ به این ترتیب میتوانیم از بودجه گرمایی مشخص شده استفاده کنیم و کنترل ابعاد قطعات را به خوبی انجام دهیم. امواج مادون قرمز کوتاه و متوسط، همراه با ماژولهای تقویتشده با کوارتز و الیاف کربنی، باعث میشوند دما به سرعت افزایش یابد، بدون هیچ تأخیری. این امر منجر به داشتن پروفایلهای گرمایشی پایدار از ۹۰ درجه سانتیگراد تا ۱۵۰ درجه سانتیگراد، در هر چرخه تولید، میشود.
سختافزار مورد استفاده، عاری از هرگونه ذره ناخواسته است؛ بنابراین میتواند در اتاقهای پاکسازی کلاس ۱-۱۰۰ به راحتی استفاده شود. در شرایط کاری ۷×۲۴ ساعته، هیچ توقف غیرمنتظرهای رخ نمیدهد؛ همچنین میانگین زمان کارکرد این سختافزار بیش از ۳۰٬۰۰۰ ساعت است. با استفاده از سیستم کنترل حلقه بسته، ذخیرهسازی دستورالعملها و ثبت دما، یکنواختی عملکرد حفظ میشود.
چرا این سیستم در فرآیند لیتوگرافی مؤثر است؟
محدودیتهای فرآیند پردازش فوتورزیستها بسیار دقیق است؛ سیستم مذکور، دما را در محدودههای مشخصی نگه میدارد؛ بنابراین فرآیند پخت، مواد حلشونده را به طور یکنواخت خارج میکند، و فرآیند پخت سخت نیز باعث میشود فیلم مورد نظر به درستی تشکیل شود، بدون اینکه بیش از حد یا کمتر از حد پخته شود. این امر منجر به کاهش تعداد کارهای تکراری، افزایش بازدهی و عملکرد پایدار میشود.
مصرف انرژی نیز از طریق کنترل پالسی و بازیابی گرما کاهش مییابد؛ بنابراین هزینههای عملیاتی کاهش مییابد، بدون اینکه سرعت تولید کاهش یابد.
چند نکته عملی:
برای نصب این سیستم، نیاز به تجهیزات ویژه برای تنظیم ولتاژ وجود دارد؛ این تجهیزات باعث کنترل نوسانات ولتاژ و حفظ پایداری دما در شرایط نامناسب میشوند. جایگزینی ماژولها بدون نیاز به ابزار خاص امکانپذیر است؛ اما برای اتصال کامل به رابطهای موجود، معمولاً نیاز به یک آزمایش کوتاه وجود دارد؛ تا دستورالعملها درست تنظیم شوند و اطلاعات جمعآوری شده دقیق باشند.
بهتر است برای راهاندازی سیستم، زمانی معادل دو ساعت را در نظر بگیرید؛ سپس ۲۴ ساعت دیگر برای تأیید عدم وجود هیچ اختلالی در عملکرد سیستم، صرف کنید.