در کف کارخانه
پخت فوتورزست اختیاری نیست—این مشخصات است. اگر دما را ۱°C در پخت نرم یا پخت سخت تغییر دهید، کنترل CD شما دچار انحراف میشود. یک جابجایی ذره، و شما میتوانید کل دسته را دور بیندازید. ما لامپهای مادون قرمز چیپ بر روی ویفر خود را طوری طراحی کردیم که این تغییرپذیری را از میان بردارد و رفتار حرارتی مورد نیاز ابزارهای پیشرفته نیمهرسانا را مطابقت دهد.
آنچه در زیر پوست اهمیت دارد
ما از انتشار مادون قرمز نزدیک (NIR) برای انتقال انرژی مستقیم به ویفر و فوتورزست استفاده میکنیم. این به شما حرارت سریع و محلی با اینرسی حرارتی پایین میدهد. در سراسر منطقه فرآیند، شما یکنواختی در سطح ویفر با دقت ±۰.۱°C و تکرارپذیری که شما را در محدودههای حرارتی دقیق نگه میدارد، دریافت میکنید.
این سیستم برای زندگی در اتاق تمیز ساخته شده است—برای کلاس ۱–۱۰۰ آماده است—و به گونهای تنظیم شده است که کارکرد پایدار باعث ایجاد جابجایی ذرات نشود. در نصبهای تأیید شده، این سیستم به صورت ۲۴/۷ با صفر زمان توقف غیرمنتظره کار کرده و از نوع کنترل حرارتی دقیقی که لیتوگرافی و توالیهای پخت فوتورزست نیاز دارند، پشتیبانی میکند.
چرا این در تولید کار میکند
در یک کارخانه واقعی، حرارت باید سریع وارد شود، پایدار بماند و هیچ چیزی را پشت سر نگذارد. حرارت NIR زمان ramp پخت را بدون افزایش بیش از حد کاهش میدهد، بنابراین شما زمان چرخه را کاهش داده و تولید را بهبود میبخشید. با یکنواختی دقیق، شما خطر مشکلات لبه-پخ و عدم یکنواختی ضخامت را کاهش میدهید—بازده بر روی ویفرهای الگو دار بهبود مییابد.
مصرف انرژی بهینه است زیرا گرمایش بر اساس تقاضا بوده و خسارات در حالت آماده به کار کم است، بنابراین هزینههای عملیاتی کاهش مییابد. لامپها همچنین گزینهای معتبر و معادل عملکردی به استانداردهای تجهیزات بینالمللی ارائه میدهند، بنابراین میتوانید آنها را بدون نیاز به تأیید مجدد کل خط تعویض کنید.
آنچه باید درست انجام دهید
نصب به تطابق رابطهای مکانیکی و الکتریکی ابزار بستگی دارد. ولتاژ، نوع کانکتور و فضای نصب را قبل از تعویض تأیید کنید. لامپ بهترین عملکرد را زمانی دارد که مسیر نوری تمیز بماند و فاصله هدف تغییر نکند—هرگونه انحراف توزیع شدت را جابهجا میکند.
ما یادداشتهای کاربردی برای همراستایی و نحوه نگهداری در اتاق تمیز ارائه میدهیم تا بتوانید شمارش ذرات را ثابت نگه دارید.