در فرآیند تولید، تغییر ۰.۱ درجه سانتیگراد در دمای حرارتی میتواند باعث تغییرات نانومتری در ابعاد مهم قطعات شود. چنین تغییراتی منجر به از کار افتادن وافرها، کاهش فاصله لازم برای استفاده از فوتورزیست، و فشار زیادی برای تولید محصولات با کیفیت میشود.
آنچه از نظر فنی اهمیت دارد:
ما این دستگاه گرمایشی مبتنی بر اشعه مادونقرمز را بر اساس معیارهای حرارتی نیمههادیها طراحی کردهایم. این دستگاه، انرژی مادونقرمز را به سرعت و به صورت مستقیم به سمت وافرها ارسال میکند؛ در نتیجه، یکنواختی دما در منطقه فعال وافرها در محدوده ±۰.۱ درجه سانتیگراد حفظ میشود. این امر باعث میشود که فرآیندهای گرمایشی به طور مداوم تکرار شوند.
این دستگاه در محیطهای کلاس ۱–۱۰۰ به خوبی کار میکند؛ هیچ ذرهای تولید نمیشود و ساختار بسته آن باعث میشود که آلودگیها در خارج از منطقه فرآیند باقی بمانند. خروجی این دستگاه در حالت کار مداوم نیز پایدار است. دادههای عملی نشان میدهد که این دستگاه میتواند بیش از ۵٬۰۰۰ ساعت در حالت ثابت کار کند، بدون کاهش قابل توجهی در عملکرد.
این طراحی مطابق با استانداردهای بینالمللی تجهیزات نیمههادی است؛ بنابراین میتوان از آن به عنوان جایگزینی مناسب استفاده کرد. ادغام این دستگاه از نظر مکانیکی و الکتریکی انجام میشود؛ بنابراین نیازی به حدس و گمان نیست.
چرا این دستگاه در فرآیندهای لیتوگرافی مؤثر است:
پاسخ فوتورزیست به دما، به تاریخچه دمایی بستگی دارد، نه فقط به دمای اوج. این دستگاه گرمایشی سریع گرم میشود و سریع سرد میشود؛ بنابراین پروفایل حرارتی یکنواختی حفظ میشود. این امر منجر به کاهش تعداد تلاشهای تکراری برای تولید محصولات با کیفیت میشود. همچنین، مصرف انرژی کاهش مییابد، زیرا جرم حرارتی بسیار کمی وجود دارد؛ گرما فقط در زمان نیاز تولید میشود، بنابراین هیچ هزینه اضافی برای گرم کردن دستگاه وجود ندارد.
آنچه باید بدانید:
نصب این دستگاه نیازمند هماهنگی دقیق اپتیکی و استفاده از منبع تغذیه با سر و صدای کم است؛ این منبع تغذیه باید متناسب با ولتاژ و جریان مورد نیاز دستگاه باشد. اگر دستگاه گرمایشی خیلی نزدیک به ماژولهای مجاور قرار گیرد، ممکن است اختلالات حرارتی ایجاد شود؛ ما نقشههایی برای حفظ یکنواختی دما ارائه میدهیم. همچنین، اگر فرآیند شما شامل گرم کردن و سرد کردن وافرها باشد، مطمئن شوید که دستگاه خنککننده شما قادر به پاسخگویی به نیازها باشد. دستگاه گرمایشی گرما را تأمین میکند؛ اما کل پروفایل حرارتی همچنان به سیستم حرارتی اطراف بستگی دارد.