در فرآیندهای تولید، میدانید که چقدر سریع، اختلاف دمایی ۲ درجه سانتیگراد در حین فرآیند پخت نرم رزیست، میتواند هفتهها کار صرف شده برای بهبود بازدهی تولید را بیفایده کند. اختلالات حرارتی در فرآیندهای لیتوگرافی؟ اصلاً قابل تحمل نیستند. عدم یکنواختی در خشک شدن ویفرها؟ همین وضعیت. عنصر گرمایشی باید با سرعت فرآیندهای ماشین همگام باشد.
چه چیزهایی مهم هستند؟ ما لامپ مادون قرمز مبتنی بر مولیبدن را با استفاده از رشتههای با تابش بالا و ساختارهای بازتابنده طراحی کردهایم؛ این ساختارها باعث استабیلی دما میشوند. نتیجه این کار، کنترل دمای دقیق و یکنواختی بالا در سطح ویفرها است؛ معمولاً اختلاف دما در مناطق داغ، کمتر از ±۰.۱ درجه سانتیگراد است. ساختار مولیبدنی، در برابر چرخههای حرارتی مکرر، شکل خود را حفظ میکند؛ همچنین، پوشش لامپ نیز مناسب برای استفاده در اتاقهای پاک است، از کلاس ۱ تا کلاس ۱۰۰. خروجی لامپ نیز پایدار است؛ دستگاهها میتوانند بیش از ۵۰۰۰ ساعت کار کنند، بدون اینکه شدت نور آنها بیش از ۵ درصد تغییر کند.
چرا این لامپ برای کارهای شما مناسب است؟ این لامپ برای فرآیندهای حرارتی مورد استفاده در تولید طراحی شده است: خشک کردن ویفرها، فرآیندهای پخت نرم و سخت رزیست، فرآیندهای بستهبندی، و خشک کردن ویفرها پس از تمیزکاری. یکنواختی بالا، باعث کاهش ناهمواریهای سطح ویفرها و کاهش مقدار حلالهای باقیمانده در ویفرها میشود؛ این امر به کنترل دقیق ابعاد ویفرها کمک میکند و از بازکاری کمک میکند. روشن شدن سریع لامپ، باعث کاهش زمان فرآیندهای حرارتی میشود، بدون اینکه دما از حد مجاز خارج شود؛ در نتیجه، بازدهی تولید افزایش مییابد. گرمایش پاک و کنترل شده، از کاهش بازدهی در مراحل حساس تولید جلوگیری میکند؛ در این مراحل، مقدار آلایندهها باید در محدودههای بسیار کمی باشد.
نکات مربوط به نصب لامپ: محدودیتهای نصب لامپ بسیار دقیق هستند. باید پوشش لامپ را با دریچههای مربوطه در اتاق تطبیق داد، و اتصال لامپ را با قطعات اصلی دستگاه بررسی کرد؛ عدم تطابق، باعث ایجاد نقاط داغ و اختلالات حرارتی میشود. لامپ با تراکم انرژی بالا کار میکند؛ بنابراین باید مطمئن شد که سیستم تأمین انرژی برای این لامپ مناسب باشد، و مسیرهای جریان هوا نیز باز باشند؛ این امر باعث استابیلی دمای رشتههای لامپ میشود. باید منتظر مدت زمانی برای گرم شدن لامپ باشید؛ بنابراین باید برنامههای کاری خود را بر اساس این زمان تنظیم کنید، تا یکنواختی کارها حفظ شود.