Trên sàn sản xuất, bạn biết rõ quy trình: sự dịch chuyển nửa độ trong quá trình soft bake làm thay đổi cấu hình photoresist, và sự thay đổi đó ảnh...

Out on the fab floor, một tấm wafer 300mm đặt sẵn, chờ bước soft bake để cố định cấu hình photoresist. Một điểm nóng, một vùng lạnh, và kiểm soát...