Керамічні емітери інфрачервоного випромінювання: скорочення часу обробки в напівпровідниковій промисловості
Ми створили ці керамічні емітери інфрачервоного випромінювання з однієї простої причини – щоб замінити систему циркуляції гарячого повітря під час обробки напівпровідників та значно скоротити час очікування.
Ось у чому різниця: при використанні гарячого повітря спочатку необхідно нагріти саме повітря, а потім чекати, поки тепло досягне поверхні підкладки. За допомогою інфрачервоного випромінювання енергія потрапляє безпосередньо на ціль. Це означає швидший тайм-код обробки.
Технічні характеристики: потужність, напруга та розміри
Цей емітер має високу потужність – 2500 Вт. Він працює при напрузі 400 В та забезпечує концентроване випромінювання на довжині 300 мм.
Чому саме 400 В? Це зменшує силу струму, що полегшує конструкцію електропроводки та контакторів. Але така потужність вимагає міцного електричного интерфейсу.
А щодо довжини трубки – 300 мм? Це забезпечує точкове нагрівання. Таким чином можна досягти необхідної інтенсивності нагріву без збільшення розмірів пристрою.
Матеріали та конструкція: галоген, покриття та контактори
Усередині знаходиться галогенний елемент короткохвильового випромінювання, розташований у кварцовій трубці. Він швидко реагує на зміни температури.
Емітер також має керамічну оболонку, яка захищає його від температурних коливань. Ця керамічна оболонка також забезпечує стабільність електричних з’єднань, навіть коли пристрій постійно нагрівається та охолоджується.
Трубка також має спеціальне покриття, яке дозволяє фокусувати інфрачервоне випромінювання та зберігати стабільну емісію світла.
Для з’єднання використовується контактор типу R7s. Це промисловий контактор, який забезпечує стабільну роботу пристрою.
Застосування та переваги: обробка напівпровідників
Під час обробки напівпровідників час нагрівання є одним із факторів, які ускладнюють процес.
За допомогою цього емітера можна безпосередньо нагрівати пластини та підкладки. Не потрібно спочатку нагрівати всю кімнату. Початок роботи відбувається швидко, а температура піднімається миттєво.
Керамічна оболонка також забезпечує стабільну роботу пристрою навіть у складних умовах.
Єдиний недолік – велика потужність емітера створює високу температуру. Тож система охолодження пристрою повинна бути належним чином налаштована.
Переваги: менше необхідності у технічному обслуговуванні, більше часу роботи пристрою та стабільна робота лінії обробки.