На виробничій лінії навіть зміна температури при випалюванні на рівні 0,1°C може спричинити зміну критичних розмірів на рівні нанометрів. Це призводить до відкидання продукції, зменшення товщини фотолаку та постійного тиску щодо підтримки необхідного рівня якості.
Що є важливим з технічної точки зору
Ми створили лінійний інфрачервоний нагрівач, який працює відповідно до теплових параметрів напівпровідників. Він швидко передає енергію у вигляді інфрачервоного випромінювання на пластинку, забезпечуючи однорідність температури в межах ±0,1°C по всій активній зоні. Це дозволяє повторювати процес випалювання кілька разів поспіль.
Пристрій може працювати в умовах класу чистоти 1–100: не виникає жодних частинок, а герметична конструкція запобігає забрудненню. Ефективність пристрою залишається стабільною під постійною роботою. Дані з практики показують, що пристрій може працювати понад 5 000 годин при постійному режимі роботи з мінімальним зниженням ефективності.
Дизайн пристрою відповідає міжнародним стандартам обладнання для напівпровідників, що дає можливість використання цього пристрою як альтернативи. Інтеграція пристрою є як механічною, так і електричною – без необхідності припущень.
Чому цей пристрій ефективний у літографії
Реакція фотолаку залежить від історії температур, а не лише від її піку. Наш лінійний нагрівач швидко нагріває та охолоджує, забезпечуючи постійність теплового профілю.
Це означає менше необхідності в переробці продукції, кращий контроль параметрів та можливість планування часу виконання процесу. Використання енергії зменшується через мінімальну теплову масу – тепло генерується за потребою, без необхідності попереднього нагрівання.
Система може працювати 24/7 з передбачуваними інтервалами технічного обслуговування. Чистота продукції забезпечується завдяки відсутності частинок на пластинці.
Що вам потрібно знати
Встановлення пристрою вимагає точної оптичної налаштування та використання спеціалізованого джерела живлення з низьким рівнем шуму, яке буде відповідати параметрам напруги та струму пристрою.
Якщо пристрій розташований занадто близько до сусідніх модулів, може виникнути теплове вплив один на одного. Ми надаємо інформацію щодо правил розміщення пристрою та способів захисту від теплового впливу.
Якщо ваш процес включає послідовність процедур нагрівання та охолодження, переконайтеся, що ваш холодильник здатний справлятися з цими процедурами. Пристрій забезпечує тепло, але загальний тепловий профіль все одно залежить від організації теплової системи навколо пристрою.