Wafer’ın Sıcaklığını Doğru Ayarlama (Enerji Israf Etmeden)
Temiz bir odada, wafer’ın taşınma sırasında sıcaklığı düşerse, bu durum ciddi sorunlara yol açar. İşte bu yüzden araç tipi ısıtıcılar kullanıyoruz. Ancak asıl zorluk, ne kadar ısı üretebileceğinizde değil; ısının gerçekten wafer’a ulaştığından emin olmaktadır. Yani ısının sadece metal yapıyı ısıtmaması gerekiyor.
Neden altını tercih ediyoruz?
Çoğu kişi alüminyum yansıtıcılar kullanır, ancak bunlar çok fazla kızılötesi enerjiyi emer. Biz ise %98’inden fazlasını yansıtan yüksek saflıkta altın kaplamalar kullanıyoruz. Bunu bir ayna gibi düşünün: Enerji her yöne dağılmak yerine tek bir yönde ilerler. Böylece ısıtıcı, odanın değil de wafer’ın işine yarar hale gelir.
Hız ve “Sıcak Nokta” Sorunu
Yüksek güçlü kısa dalga lambalar kullanıyoruz çünkü bu lambalar hızlı bir şekilde hedefe ulaşır. Bu da tam olarak istediğimiz şeydir. Ancak bir sorun var: Eğer altın kaplama mükemmel şekilde eşit değilse, wafer’in üzerinde sıcak noktalar oluşur. İşte bu yüzden kaplama işlemine büyük önem veriyoruz. Tüm çap boyunca sıcaklığın düzgün ve sabit kalması için ayna gibi bir yüzeye ihtiyacımız var.
Önemli bir nokta: Dikkatli olmak gerekir
Altın, ısıyı odaklamada harika bir malzemedir, ancak biraz kaprislidir. Bu yüzeyleri aşındırıcı temizleyicilerle temizleyemezsiniz. Küçük bir çizik veya kimyasal bir birikinti bile yansıtma özelliğini bozar. Böyle bir durumda lambaların sıcaklığı korumak için iki kat daha fazla çaba göstermesi gerekir ve filamanlar daha hızlı yanar.
Son bir ipucu: PID kontrolcülerini kontrol edin.
Altın sayesinde sistem standart ısıtıcılara kıyasla çok daha hızlı tepki verir. Bu yüzden sıcaklığın hızla değiştiğini göreceksiniz. Bu durumu kontrol altına almak için ayarları dikkatlice yapmanız gerekiyor; aksi takdirde wafer’lar zarar görebilir.