Hızlı termal işleme (RTP) lambası
On fabrika katında işleyişin nasıl olduğunu bilirsiniz: yumuşak pişirmedeki yarım derece kayma, fotoresist profilini değiştirir ve bu kayma kritik...
Optik wafer işleme ısıtıcısı
Fabrika katında, 300mm bir wafer, fotoresist profilini sabitlemek için yumuşak pişirme işlemini bekliyor. Bir sıcak nokta, bir soğuk bölge ve çizgi...