
Yarı iletken üretiminde IR ısıtma ile karbon salınımını azaltmak
Dürüst olalım: Yarı iletken işlemleri için kullanılan kapların ısıtılması genellikle enerji israfıdır. Çoğu sistemde dirençli ısıtma yöntemi kullanılır; bu da aslında iş parçasını istenen sıcaklığa getirmek için tüm kapın ısıtılması anlamına gelir. Bu oldukça verimsiz bir yöntemdir.
Daha iyi bir yol bulduk. Kısa dalga boylu kızılötesi ısıtıcılar kullanarak ısıyı tam olarak gereken yere yönlendirebiliriz. Böylece hava ile mücadele etmek yerine doğrudan iş parçasını ısıtmış oluruz.
Güç konusu
Vakum veya inert atmosfer ortamlarında çalışırken hızlı bir şekilde istenen sıcaklığa ulaşmak gerekiyor. İşte burada yüksek güç yoğunluğu devreye giriyor. Kızılötesi ısıtma, ısıyı konveksiyon yerine radyasyon yoluyla aktardığı için, kutuyu dolduran argon veya azot gazlarını ısıtmak için binlerce wattlık enerji harcamanıza gerek kalmaz. Bu sayede ısıtma süresi azalır ve enerji faturanızda hemen fark görülür.
Üretimde kullanılan malzemeler
Kirlilik buradaki en büyük düşmandır. Küçük bir hata bile tüm ürünleri bozabilir. Bu yüzden yüksek saflıkta kuvars malzemeler ve tungsten filamentler kullanıyoruz. Kuvars mükemmeldir çünkü sıcak olduğunda gaz salmaz. Ayrıca ısının malzemenin içine geçmesini sağlamak için özel kaplamalar da kullanıyoruz.
Bu kutuların içinde alan her zaman sınırlı olduğundan standart konektörler kullanıyoruz. Bu sayede elektrik bağlantısı sağlam olur ve rahatsız edici elektrik arkları oluşmaz.
Gerçekler
Kızılötesi ısıtma kullanmak hem gezegen için hem de temiz oda ortamları için avantajlıdır. HVAC ve soğutma sistemlerinin üzerindeki yükü büyük ölçüde azaltır. Ancak bu bir “tak ve çalıştır” çözümü değildir. Yüksek yoğunluktaki kızılötesi ısı ciddi lokal ısı oluşturabilir. Eğer montaj braketlerinde veya koruma elemanlarında dikkatsiz davranırsanız, çerçevelerin deformesi veya contaların zarar görmesi gibi sorunlar yaşanabilir. Ayrıca basitçe bir anahtar çevirip işlemi bitiremezsiniz; hassas bir PID kontrolcüye ihtiyaç vardır. Sağlam bir geri bildirim döngüsü olmadan filamentlerin yanmasına veya yüzeylerin zarar görmesine neden olmak çok kolaydır.