Litografi işlemlerinde durum böyledir. Yarım derece kadar bile olsa meydana gelen bir sıcaklık değişikliği, çizgi kalınlıklarını bozabilir. Aşırı yüksek sıcaklıklarda ise direnç malzemesi o kadar sertleşir ki, geliştirici maddelerle mücadele eder ve istenmeyen sonuçlar ortaya çıkar.
Peki ya o kızılötesi lambalar? Bunlar sadece ısıtıcılar değildir; bunlar tam anlamıyla işlem araçlarıdır.
Asıl önemli olan şeyler Lambayı, direnç malzemesinin ısıyı hızlı ve eşit şekilde emebilmesi için kısa dalga boylu kızılötesi ışıkla tasarlıyoruz. Bu sayede hızlı bir ısınma sağlanır, termal gecikme en aza indirilir ve ısıtma yüzeyinde±0,1°C içinde eşitlik sağlanır. Emici parça, tutarlı bir çıkış sağlamak için stabil bir güç kaynağı üzerine yerleştirilir. Ayrıca bu cihaz, parça üretimi sırasında hiçbir partikül oluşmayacak şekilde, Class 1–100 temiz oda koşullarında kullanılabilir. 5.000 saatten fazla kullanım süresi beklenebilir ve %5’ten az verim düşüşü olur; böylece 7/24 kesintisiz çalışma mümkün olur.
Neden bu önemli? Yumuşak ısıtma işlemi, malzemenin yapışmasını sağlar ve çözücülerin uzaklaştırılmasına yardımcı olur. Sert ısıtma ise aşındırma maskesinin bütünlüğünü sağlar. Bu lamba sayesinde her parti için gerekli olan ısı seviyesi belirlenebilir. Aynı sıcaklık profili, her wafer için ve her parti için tekrarlanır; böylece CD kontrolü ve verimlilik konularında tahminler gereksiz hale gelir.
Enerji tüketimi azalır, çünkü lamba sadece hedef alanı ısıtır, etrafındaki yapıyı değil. Daha az lamba değişimi demek, daha az işlem duraklaması ve daha az atık anlamına gelir.
Dikkat edilmesi gerekenler Lambayı, odanın geometrisine ve kuvars pencerenin ışık iletim eğrisine uygun hale getirmek önemlidir. Aksi takdirde yansıma ve sıcak noktalar eşitliği bozar. Bağlantı tipini, voltajı ve soğutma yolunu ekipmanınıza göre doğrulayın.
Pirometrenin ve emici parçanın çıkış değerlerinin periyodik olarak yeniden ayarlanması gerekmektedir. Lamba işlevini yerine getirecektir, ancak bu ancak sistemin diğer bölümleri uyumlu olduğunda mümkündür.