บนพื้นที่โรงงาน คุณรู้ว่ามันเป็นอย่างไร: การเปลี่ยนอุณหภูมิในการอบซอฟต์เบคเพียงครึ่งองศา สามารถเปลี่ยนแปลงรูปโปรไฟล์ของโฟโตริสต์...

Out on the fab floor, a 300mm wafer sits, waiting for that soft bake to lock in the photoresist profile. One hot spot, one cold zone, and your...