ในกระบวนการผลิตชิป แม้ว่าอุณหภูมิการอบจะเปลี่ยนแปลงเพียง 0.1°C เท่านั้น ก็อาจส่งผลให้ขนาดของชิปเปลี่ยนไปถึงระดับนาโนเมตรได้ ซึ่งส่งผลให้ชิปที่ผลิตออกมาไม่มีคุณภาพ และยังส่งผลให้มีความกดดันในการผลิตที่สูงขึ้นอีกด้วย
สิ่งที่สำคัญทางเทคนิค
เราได้ออกแบบอุปกรณ์ให้ความร้อนแบบอินฟราเรดแบบเชิงเส้น โดยอิงตามหลักการควบคุมอุณหภูมิของชิปเซมิคอนดักเตอร์ อุปกรณ์นี้สามารถส่งพลังงานอินฟราเรดไปยังชิปได้อย่างรวดเร็ว และช่วยรักษาความสม่ำเสมอของอุณหภูมิไว้ที่ ±0.1°C ซึ่งทำให้สามารถทำการอบชิปได้อย่างสม่ำเสมอในแต่ละครั้ง
อุปกรณ์นี้สามารถทำงานได้ดีในสภาพแวดล้อมที่มีความสะอาดระดับ Class 1–100 โดยไม่ก่อให้เกิดอนุภาคใดๆ และมีโครงสร้างที่ปิดสนิท ทำให้สิ่งสกปรกอยู่นอกพื้นที่การผลิต อุปกรณ์นี้ยังสามารถทำงานได้อย่างมีเสถียรภาพตลอดเวลา จากข้อมูลการใช้งานจริง พบว่าสามารถทำงานได้นานกว่า 5,000 ชั่วโมงโดยมีการเสื่อมสภาพน้อยมาก
การออกแบบของอุปกรณ์นี้สอดคล้องกับมาตรฐานของอุปกรณ์เซมิคอนดักเตอร์ระดับสากล ทำให้สามารถนำมาใช้แทนอุปกรณ์เดิมได้อย่างมีประสิทธิภาพ การติดตั้งอุปกรณ์นี้ต้องมีการปรับจูนทางแสงอย่างแม่นยำ และต้องมีแหล่งจ่ายไฟที่มีความถี่ต่ำเพื่อให้เหมาะสมกับแรงดันไฟฟ้าและกระแสไฟของอุปกรณ์
หากอุปกรณ์นี้ถูกติดตั้งใกล้กับอุปกรณ์อื่นเกินไป ก็อาจเกิดปัญหาเรื่องความร้อนที่ส่งผลต่อคุณภาพของชิปได้ เรามีแผนที่แสดงระยะห่างที่เหมาะสม และคำแนะนำเกี่ยวกับการป้องกันความร้อนเพื่อรักษาความสม่ำเสมอของอุณหภูมิ
นอกจากนี้ หากกระบวนการผลิตมีการสลับระหว่างการอบกับการทำให้ชิปเย็นลง ก็ต้องมั่นใจว่าอุปกรณ์ทำความเย็นสามารถทำงานได้ทันกับอุปกรณ์ให้ความร้อน อุปกรณ์ให้ความร้อนจะส่งพลังงานความร้อนมา แต่คุณภาพของชิปยังขึ้นอยู่กับระบบควบคุมอุณหภูมิโดยรอบด้วย