На этапе литографии все зависит от точности контроля температуры. Даже небольшое изменение температуры в полградуса может нарушить параметры линий на пластине. Слишком высокая температура приводит к тому, что фоторезист становится слишком твердым, из-за чего он не растворяется в разбавителе. В результате возникают нежелательные эффекты.
А что касается инфракрасных ламп… Это не просто нагреватели. Это средства для контроля процесса.
Что действительно важно Мы создаем лампы, работающие в диапазоне коротковолнового инфракрасного излучения. Благодаря этому фоторезист быстро поглощает тепло. Это обеспечивает быстрый нагрев, минимальную задержку в передаче тепла и однородность температуры по всей поверхности пластины в пределах ±0,1°C. Источник света расположен на стабилизированном источнике питания, что обеспечивает постоянство параметров излучения. Лампы предназначены для использования в чистых комнатах класса 1–100, где не должно быть никаких частиц. Ожидаемая продолжительность работы лампы — более 5 000 часов при уровне снижения мощности менее 5%. Лампы можно использовать круглосуточно без простоев.
Почему это важно в процессе производства При слабом нагреве улучшается адгезия материалов, а также ускоряется выделение растворителей. При сильном нагреве сохраняется целостность маски для этичкирования. Благодаря этим лампам можно контролировать температуру при каждой серии производства. Одинаковый профиль температуры сохраняется при обработке разных пластин и партий, что позволяет точно контролировать качество продукции.
Энергопотребление снижается, поскольку лампа нагревает сам объект обработки, а не его окружение. Меньше замен ламп означает меньше простоев в процессе производства и меньше брака.
На что следует обратить внимание Необходимо соответствие лампы геометрии камеры и характеристикам прозрачного окна из кварца. В противном случае отражение света и «горячие точки» могут нарушить однородность температуры. Также необходимо учитывать тип разъема, напряжение и систему охлаждения в соответствии с характеристиками вашего оборудования.
Необходимо периодически калибровать пирометр и параметры излучения лампы. Лампа будет выполнять свою функцию, но только при правильной настройке всей системы.