На производственном этаже все понятно: сдвиг температуры на полградуса при мягком запекании изменяет профиль фоторезиста, и этот сдвиг влияет на...

На производственном участке лежит 300mm пластина, ожидающая мягкого отжига для закрепления профиля фоторезиста. Один горячий участок, одна холодная...