Pada proses produksi, kualitas hasilnya akan menurun ketika kontrol suhu tidak berjalan dengan baik. Proses pembersihan yang tidak sempurna akan meninggalkan tetesan air kecil di permukaan wafer, dan tetesan-tetesan ini justru menjadi penyebab munculnya cacat pada wafer tersebut. Alat pengering fotoresist mungkin menunjukkan suhu target pada layarnya, tetapi perbedaan suhu antara berbagai sampel akan mempengaruhi ketebalan lapisan fotoresist dan kualitasnya. Solusinya bukanlah dengan memberikan lebih banyak panas, melainkan dengan menggunakan panas yang dikendalikan secara tepat.
Apa yang penting dalam proses pengeringan ini? Kami merancang alat pengering NIR ini menggunakan sumber radiasi inframerah pendek yang disesuaikan dengan tingkat penyerapan silikon, sehingga energi dapat masuk ke dalam wafer tanpa merusak permukaannya. Respons alat ini sangat cepat, yaitu dalam hitungan detik, dan tingkat keseragaman suhu di seluruh permukaan wafer mencapai ±0,1°C. Alat ini juga kompatibel dengan ruang kerja kelas 1–100, menggunakan bahan-bahan yang minim memproduksi gas berbahaya, serta memiliki sistem aliran udara yang efektif untuk menghindari munculnya partikel debu. Keandalan alat ini ditentukan oleh sensor-sensor yang telah dikalibrasi dengan baik serta sistem kontrol tertutup, sehingga setiap proses pengeringan berjalan secara konsisten.
Mengapa alat ini cocok digunakan dalam proses produksi? Dalam proses litografi, alat pengering NIR ini mampu menciptakan kondisi panas yang sesuai untuk proses pengeringan fotoresist, sehingga mengurangi risiko munculnya cacat pada wafer. Dalam proses pembersihan dan pengeringan, alat ini mampu menghilangkan sisa kelembapan tanpa meninggalkan jejak, sehingga mengurangi jumlah wafer yang harus dibuat ulang. Dalam proses pembungkusan, alat ini memungkinkan proses pengeringan yang cepat dan stabil, sehingga mengurangi waktu produksi. Penggunaan energi juga berkurang, karena panas diberikan sesuai kebutuhan, bukan disimpan dalam wadah panas. Keandalan alat ini telah terbukti di lapangan: alat ini dapat beroperasi 24/7 tanpa henti, dan interval perawatan dapat mencapai ribuan jam.
Detil praktisnya: Alat pengering NIR ini dapat digunakan bersama dengan alat-alat lain yang sudah ada, tetapi jalur optiknya harus tetap bersih dan sejajar. Pastikan ada ruang yang cukup di sekitar jendela pemancar radiasi, dan pastikan spektrum radiasi yang digunakan sesuai dengan karakteristik polimer yang digunakan. Perlu dilakukan penyesuaian sedikit ketika mengganti jenis polimer yang digunakan, dan catatlah nilai-nilai pengaturan yang baru. Setelah itu, proses pengeringan akan berjalan secara terkendali.