Lampu pemrosesan termal cepat (RTP)
On the fab floor, Anda tahu bagaimana jalannya: pergeseran setengah derajat pada soft bake mengubah profil photoresist, dan perubahan itu memengaruhi...
Pemanas pemrosesan wafer optik
Di lantai produksi, sebuah wafer 300mm diletakkan, menunggu soft bake untuk mengunci profil photoresist. Satu titik panas, satu zona dingin, dan...