המנורה האינפרא אדומה הטובה ביותר לשימוש עם חומרי פוטורזיסט.

בתהליך הליתוגרפיה, כמו שאתם יודעים, כל שינוי קטן בטמפרטורה יכול לפגוע ברוחב הקווים שנוצרים. טמפרטורה גבוהה מדי עלולה לגרום לחומר ההגנה להתקשות, מה...