Comment atteindre la bonne température pour la wafer, sans gaspiller d’énergie
Dans une salle propre, si la température de la wafer baisse pendant son transport, cela peut entraîner de sérieux problèmes. C’est pourquoi nous utilisons des séchoirs à chaleur. Mais le vrai défi réside dans le fait de s’assurer que la chaleur atteigne bien la wafer, et non simplement de réchauffer le châssis métallique.
Pourquoi choisir l’or ?
La plupart des gens commencent avec des réflecteurs en aluminium, mais ceux-ci absorbent trop d’énergie infrarouge. Nous avons donc opté pour des revêtements en or de haute pureté, car ils reflètent plus de 98 % de cette énergie.
Imaginez cela comme un miroir pour la chaleur : au lieu que l’énergie se disperse partout, le revêtement en or la dirige vers une seule direction. Cela transforme ainsi le séchoir en un faisceau de chaleur ciblé, ce qui permet à chaque watt d’énergie d’être utilisé efficacement, plutôt que d’être gaspillé dans la pièce.
Vitesse et problème des points chauds
Nous utilisons des lampes à courte onde à haute puissance, car elles permettent une montée en température rapide. C’est exactement ce dont on a besoin.
Mais il y a un problème : si le revêtement en or n’est pas parfaitement uniforme, des points chauds peuvent apparaître sur la wafer. C’est pourquoi nous accordons une grande importance au processus de dépôt du revêtement en or. Il est nécessaire que le revêtement soit parfaitement lisse pour que la température reste constante sur toute la surface de la wafer.
Le compromis : faire preuve de prudence
L’or est excellent pour concentrer la chaleur, mais c’est aussi un matériau fragile. On ne peut pas nettoyer ces surfaces avec des produits abrasifs. Un simple rayure ou une accumulation de produits chimiques suffit à réduire leur capacité de réflexion. Dans ce cas, les lampes doivent travailler deux fois plus dur pour maintenir la température, ce qui accélère la destruction des filaments.
Un dernier conseil : vérifiez vos contrôleurs PID. Comme l’or rend le système beaucoup plus réactif qu’un séchoir standard, vous remarquerez que la température augmente rapidement. Il faut donc ajuster correctement les paramètres de contrôle, sinon vous risquez de brûler vos wafers.