Accélérer le chauffage dans vos usines de fabrication de puces
Si vous travaillez avec des wafers ou que vous utilisez des techniques de CVD, vous savez déjà que les lampes de chauffage constituent l’élément essentiel de tout le processus. Mais voilà : dans une usine moderne, on ne peut se permettre d’utiliser des éléments de chauffage inefficaces. Il vous faut des sources de chaleur qui communiquent réellement avec vos systèmes de contrôle numériques. Vous devez pouvoir suivre en temps réel ce qui se passe en termes de distribution thermique, sans avoir à deviner.
Les détails clés concernant les lampes UHP
Lorsque nous fabriquons ces lampes, notre objectif est simple : obtenir une chaleur précisément là où elle est nécessaire, sans laisser de résidus sur le substrat. C’est pourquoi nous utilisons du quartz synthétique de haute qualité. Ce matériau empêche toute dégazification lorsqu’il fait froid. Dans une salle propre, c’est une exigence fondamentale. Si vous travaillez avec des wafers de 300 mm, vous avez probablement besoin d’une grande densité de puissance. Nous utilisons donc des ondes infrarouges à court parcours, car elles pénètrent rapidement le matériau. Cela réduit le temps de mise en marche, ce qui permet d’accélérer le processus.
Arrêtez de deviner, commencez à suivre en temps réel
L’Industrie 4.0 est un terme fancy, mais pour nous, cela signifie simplement utiliser des données pour faciliter le travail. Nous connectons ces lampes à des systèmes contrôlés par des PLC, afin de pouvoir surveiller la tension et la consommation d’énergie. C’est vraiment utile. Au lieu de remplacer les lampes selon un calendrier prédéfini – ce qui est généralement une perte de temps ou un risque inutile – vous pouvez savoir quand une lampe commence réellement à perdre en efficacité. Vous pouvez alors la remplacer juste avant qu’elle ne tombe en panne. C’est ce qu’on appelle un remplacement prédictif. De plus, vous pouvez visualiser la distribution thermique sur le wafer en temps réel. Moins de déchets, moins de problèmes.
Les compromis à connaître
Il faut être honnête : les lampes UHP à haute puissance génèrent beaucoup de chaleur, mais elles nécessitent également beaucoup d’énergie. Vérifiez bien votre câblage. Assurez-vous que vos connecteurs peuvent supporter le courant maximal, sinon vous risquez des baisses de tension qui affectent les résultats. N’oubliez pas non plus le système de refroidissement. Si votre système ne peut pas gérer la chaleur ambiante, la température de traitement va commencer à varier. Nous avons conçu ces lampes pour être compatibles avec les équipements que vous possédez déjà. Il suffit que la longueur d’onde soit compatible et que la pureté du quartz soit satisfaisante. Si ces deux conditions sont remplies, le côté numérique s’occupe du reste.