Sécher correctement les wafer de capteurs MEMS à l’aide de chaleur radiante
Le séchage des wafer de capteurs MEMS est une opération délicate. Il faut suffisamment de chaleur pour éliminer l’humidité, mais si on en utilise trop, on risque de détruire ces micro-structures extrêmement fragiles.
C’est pourquoi nous utilisons des réflecteurs recouverts d’or. Cela peut sembler sophistiqué, mais l’objectif est simple : s’assurer que la chaleur infrarouge atteigne bien le wafer, plutôt que de se limiter à réchauffer l’intérieur de la machine.
Pourquoi de l’or ?
La plupart des gens commencent par utiliser des réflecteurs en aluminium. Mais il y a un problème : l’aluminium absorbe et disperse une grande partie de cette énergie. C’est donc une perte inutile.
Nous préférons donc utiliser un revêtement en or de haute pureté, car l’or est beaucoup plus efficace pour renvoyer la lumière infrarouge. Au lieu que la chaleur s’échappe vers le châssis de la machine, la couche d’or renvoie ces photons directement vers le wafer.
Résultat ? On obtient davantage de chaleur sur le wafer, sans avoir besoin d’augmenter la puissance du chauffage.
Maximiser l’efficacité dans un espace restreint
Lorsque l’on choisit ces chauffages, il est important de prendre en compte la densité énergétique. On veut obtenir beaucoup de puissance dans un espace très restreint.
En concentrant les rayonnements, on peut atteindre la température souhaitée avec beaucoup moins d’énergie. Cela signifie que le temps de séchage est réduit, et que le nombre de cycles nécessaires par wafer diminue. Tout se passe donc plus rapidement.
Les limites
Il y a cependant un inconvénient : lorsque la chaleur est concentrée de manière intense, les électrodes de la lampe et le boîtier sont mis à rude épreuve.
Si l’on tente de contourner ce problème en augmentant excessivement la puissance, on risque de endommager les éléments de la lampe ou de déformer le réflecteur. Il faut donc trouver le bon équilibre entre la quantité de chaleur reflétée et la capacité du système à l’évacuer.
Installation
Ces unités sont conçues pour remplacer directement les modules IR standards. Il n’y a donc pas de difficulté particulière pour les installer.
Il faut surtout veiller à bien aligner la lampe et le réflecteur recouvert d’or. Si la lampe n’est pas parfaitement centrée, le point focal change et le séchage devient inégal.
Un dernier conseil : connectez l’appareil à une source d’alimentation stable. Les pics de tension peuvent endommager rapidement la lampe.