Dès que la puce Micro LED est sortie du processus de nettoyage, le temps presse. L’humidité résiduelle et les effets thermiques nuisent rapidement aux performances de la puce. Les étapes de séchage du photo-résistant doivent avoir lieu dans une plage de température de ±0,1 °C ; sinon, on constate des problèmes de contrôle de l’épaisseur des lignes et de leur adhérence. Le chauffage utilisé doit donc atteindre cette précision sans produire de particules, tout en maintenant un rythme constant de séchage.
En bref, cet appareil doit être capable de maintenir une température constante, de se remettre rapidement en état après chaque cycle de séchage, et de rester propre. Nous avons conçu notre chauffage pour puces Micro LED en utilisant des éléments à infrarouge à courte longueur d’onde, placés dans une chambre isolée en quartz. Cela permet de chauffer rapidement la puce, puis de maintenir cette température constante. La uniformité de température sur toute la surface active de la puce est de ±0,1 °C, et le système de contrôle permet de garder cette température stable.
Cet appareil est conçu pour fonctionner dans des salles propres de classe 1–100. Ses composants intérieurs sont polis, et sa géométrie favorise un flux d’air laminaire, ce qui empêche la formation de particules. Les paramètres de séchage du photo-résistant restent constants d’un lot à l’autre, car l’algorithme de contrôle compense les variations liées à la masse des particules et aux conditions ambiantes. La fiabilité de cet appareil est assurée pour 24 heures consécutives ; nous garantissons zéro temps d’arrêt non planifié pendant les périodes de production.
Vous devez maximiser le rendement de votre ligne de production. Ce chauffage réduit le temps nécessaires au séchage, diminue le temps d’attente entre le nettoyage et la lithographie, et diminue les pertes dues aux défauts sur les bords de la puce ou à la rétention de solvants. La consommation d’énergie est également réduite, car le chauffage fonctionne rapidement et maintient la température désirée sans excès. De plus, les intervalles de maintenance sont allongés, grâce à une faible masse thermique et à des composants conçus pour fonctionner pendant des milliers de cycles.
Une remarque pratique concernant l’installation : le chauffage nécessite une alimentation électrique dédiée de 240 V, ainsi qu’un air propre et sec pour maintenir un environnement propre. Il est essentiel que les dimensions de l’appareil correspondent à celles de l’interface de traitement utilisée. Nous fournissons des plans dimensionnels et des schémas de connexion pour garantir une intégration correcte de l’appareil dans la chaîne de production.