Protéger les équipements : lampes infrarouges revêtues d’or pour le nettoyage chimique
soyons honnêtes : utiliser des lampes infrarouges directement au-dessus de réservoirs contenant des produits chimiques inflammables dans une usine de semi-conducteurs est une pratique très risquée. Un seul étincelle ou la panne d’un tube en quartz peut provoquer un désastre. C’est donc un environnement extrêmement dangereux.
C’est pourquoi nous ne prenons aucun risque. Nous combinons un revêtement en or avec des systèmes de fermeture très solides, afin d’assurer la sécurité du sol sur lequel se trouvent ces lampes.
Pourquoi l’or ?
Les lampes en quartz standards émettent de la chaleur partout autour d’elles. Nous ajoutons donc une fine couche d’or sur l’enveloppe de la lampe, ce qui agit comme un miroir. Ainsi, au lieu de laisser la chaleur s’échapper, elle est dirigée vers l’avant, c’est-à-dire vers la puce à nettoyer.
L’avantage principal est que la carcasse de la lampe reste beaucoup plus fraîche. En évitant l’émission de chaleur dans l’air ambiant, on réduit considérablement le risque d’incendie causé par des vapeurs qui pourraient se trouver dans la zone de chauffage. C’est une solution simple qui permet d’éviter beaucoup de problèmes.
Sécurisation
On ne peut pas simplement laisser une lampe exposée dans une zone volatile. C’est trop risqué.
Au lieu de cela, nous enveloppons la lampe dans un matériau en quartz ou en saphir très résistant, puis nous la placons dans une boîte capable de résister aux produits chimiques aggressifs. Nous utilisons également des compositions spéciales pour protéger les fils électriques. Cela évite que des gaz corrosifs ne pénètrent dans les connexions électriques – c’est généralement là que les joints bon marché échouent et que la lampe finit par brûler.
Les points importants à considérer
Ce ne sont pas simplement des alternatives « plug and play ». Il y a quelques points auxquels il faut faire attention.
Comme le revêtement en or modifie la manière dont la chaleur est émise, il faudra ajuster les contrôleurs PID. Sinon, on risque de dépasser la température souhaitée. De plus, comme ces lampes concentrent beaucoup de chaleur, il est essentiel que le système de ventilation soit suffisamment puissant pour évacuer ces gaz.
Nous concevons ces équipements pour qu’ils puissent résister à des conditions difficiles. Nous accordons une grande importance à l’intégrité des soudures des électrodes, car si le vide est perturbé, le cycle halogène est interrompu et la lampe cesse de fonctionner.
Il s’agit avant tout de maintenir un environnement stable et, surtout, de protéger tous ceux qui travaillent dans cette usine.