Dans le domaine de la lithographie, on sait bien comment c’est : une légère variation de température, même de seulement demi-degré, peut perturber les lignes de tracé. Une température trop élevée, quant à elle, fait que le résistant se durcit au point de résister au développeur, ce qui entraîne des défauts indésirables.
Et ces lampes infrarouges ? Ce ne sont pas simplement des chauffages. Ce sont des outils essentiels pour le processus de fabrication.
Ce qui est vraiment important
Nous concevons ces lampes pour qu’elles émettent des ondes infrarouges à courte longueur d’onde, de manière à ce que le résistant absorbe rapidement la chaleur. Cela permet d’obtenir une montée en température rapide, avec un minimum de retard thermique, et une uniformité sur toute la surface de cuisson, avec une tolérance de ±0,1°C. L’émetteur est connecté à une source d’énergie stable, afin que la puissance délivrée reste constante. De plus, l’appareil est conçu pour fonctionner dans des salles propres de classe 1–100, sans aucune génération de particules. On peut s’attendre à une durée de vie de plus de 5 000 heures, avec moins de 5% de perte de performance, et cela sans interruption de fonctionnement.
Pourquoi c’est important en production
La cuisson douce permet d’améliorer l’adhérence du résistant et d’éliminer les solvants. La cuisson forte, quant à elle, assure l’intégrité de la couche protectrice utilisée lors de l’usinage. Avec cette lampe, on peut contrôler précisément la température nécessaire pour chaque lot. Le même profil thermique est maintenu d’une wafer à l’autre, d’un lot à l’autre, ce qui permet de contrôler mieux la qualité des produits finis.
L’utilisation d’énergie est réduite, car la lampe chauffe uniquement l’objet à traiter, et non le cadre qui l’entoure. Moins de remplacements de lampes signifie moins d’interruptions dans le processus de fabrication, et donc moins de produits défectueux.
À surveiller
Il est important de choisir une lampe adaptée à la géométrie de la chambre de fabrication, ainsi qu’à la courbe de transmission de la fenêtre en quartz. Sinon, la réflexion de la lumière et les points chauds peuvent nuire à l’uniformité. Vérifiez également le type de connecteur, la tension, ainsi que le système de refroidissement, en fonction de vos équipements.
Prévoyez également une recalibration périodique du pyromètre et de l’émetteur. La lampe fera son travail, mais seulement si tout le reste du système est bien calibré.