Sur le plancher de production, vous savez comment ça se passe : un décalage d’un demi-degré lors du soft bake modifie le profil du photoresist, et cette variation impacte votre dimension critique. Le budget thermique est strict, il n’y a aucune marge d’erreur.
Ce qui compte en interne
Nous utilisons des lampes RTP avec un chauffage halogène à ondes courtes traversant du quartz de haute pureté, ce qui assure une énergie rapide et directionnelle. Le système maintient une uniformité thermique au niveau des wafers dans ±0,1°C sur toute la plage process, du soft bake au hard bake du photoresist. La répétabilité est assurée frappe par frappe, et le contrôle en boucle fermée stabilise le point de consigne sous charge.
L’équipement est conçu pour une salle blanche de classe 1–100, avec génération nulle de particules et faible dégazage. Ces unités fonctionnent en continu 24/7, et nous avons cumulé plus de 5 000 heures avec une perte de rendement inférieure à 5 %.
Pourquoi cela importe là où vous êtes
En lithographie, une température de cuisson stable garantit le respect des CDs et limite la rugosité des bords de lignes. Une uniformité stricte réduit les rejets en bordure et améliore le rendement global. Des pentes de montée rapides diminuent le temps de cycle sans induire de contraintes thermiques dans l’empilement, et l’efficacité réduit les coûts d’exploitation.
Le résultat est moins d’écarts, moins de retouches, et une production fiable. En packaging, cette même stabilité thermique assure un durcissement fiable et une intégrité solide des liaisons, ce qui maintient le flux en ligne.
Les points à maîtriser
La lampe est à haute intensité, il faut que l’interface de chambre soit adaptée thermiquement. Nous fournissons les plans d’interface, et recommandons une alimentation électrique dédiée avec une stabilité de tension dans ±1 %. Attendez-vous à un court temps de chauffe avant d’atteindre le régime permanent — planifiez vos recettes en fonction de cette montée en température. Une installation correcte vous assurera des performances stables avec un minimum de pannes imprévues.