Správné zahřívání waferu (bez plýtvání energií)
V čisté místnosti, pokud teplota waferu během přepravy klesne, máte opravdu velké problémy. Proto používáme topné elementy na kolečkách. Ale skutečný problém spočívá v tom, že nejde o to, kolik tepla dokážeme vytvořit. Jde o to, aby teplo skutečně dosáhlo waferu, a nejen vyhřálo kovovou konstrukci.
Proč volíme zlato
Většina lidí začíná s hliníkovými reflexory, ale ty pohlcují příliš mnoho infračervené energie. My jsme přešli na povlaky z vysoce čistého zlata – ty odrážejí více než 98 % této radiace.
Můžete si to představit jako zrcadlo pro teplo. Místo toho, aby se energie rozptylovala všude kolem, zlatý povlak ji odráží v jednom směru. V podstatě tak proměňujeme topný element v zaměřený paprsek, což zaručuje, že každý watt energie slouží právě vašemu waferu, a ne celé místnosti.
Rychlost a problém „horkých míst“
Používáme vysokowattážní lampy s krátkými vlnami, protože rychle dosahují cíle. Díky tomu dochází k rychlému zahřátí, což je přesně to, co chceme.
Ale existuje jeden problém: pokud není zlatý povlak dokonale rovnoměrný, vzniknou na waferu „horká místa“. Proto se velmi soustředíme na proces nanášení povlaku. Potřebujeme takový povlak, který udrží teplotu rovnoměrnou po celém průměru waferu.
Kompromis: Jednejte opatrně
Zlato je skvělé pro zaměření tepla, ale je trochu náročné na údržbu. Nesmíte tyto povrchy čistit abraziivními čisticími prostředky. Jeden špatný škrábanec nebo trocha chemických látek může snížit jejich reflexivitu. Když se to stane, lampy musí pracovat dvakrát usilovněji, aby udržely teplotu na správné úrovni. Navíc se vlákna lamp rychleji spálí.
Poslední tip: zkontrolujte své regulátory PID.
Jelikož zlato způsobuje, že systém reaguje mnohem rychleji než běžný topný element, všimnete si rychlých změn teploty. Musíte tedy nastavit parametry tak, abyste zabránili nadměrnému zahřátí waferu.