مصباح المعالجة الحرارية السريعة (RTP)
على أرض المصنع، أنت تعرف كيف تجري الأمور: انحراف بسيط بدرجة نصف في الخبز الناعم يغير شكل الطبقة الضوئية، وهذا الانحراف يؤثر مباشرة على الأبعاد...
سخان معالجة الرقائق البصرية
في أرضية المصنع، توجد رقاقة بقياس 300mm تنتظر الخبز الناعم لتثبيت شكل الفوتوريزست. نقطة ساخنة واحدة، منطقة باردة واحدة، وتتحكم خط العرض يختفي. يتوقف...