微LED晶圆干燥加热器

一旦Micro LED晶圆完成清洗步骤，时间就开始变得至关重要。残留的水分和热量会迅速影响晶圆的质量。光阻的软烘烤和硬烘烤过程必须控制在±0.1°C的范围内，否则就会出现线宽控制不准确或粘附力下降的问题。干燥加热器必须能够精确控制温度，同时避免产生颗粒物，且不能破坏晶圆的加工节奏。 简而言之，这种...