
Làm thế nào để xử lý các tấm wafer một cách hiệu quả: Điều quan trọng là ánh sáng phản chiếu
Khi xử lý các tấm wafer, bạn cần có nhiệt độ cao. Nhưng không chỉ cần “nhiệt độ” thôi – bạn cần đảm bảo rằng nhiệt độ được truyền chính xác vào bề mặt của tấm wafer mỗi lần.
Hầu hết mọi người coi bộ phận phản chiếu như một chi tiết vô tri vô giác. Nhưng tôi lại nhìn nó theo cách khác: đó chính là công cụ quan trọng nhất trong quy trình này. Nếu bộ phận phản chiếu không hoạt động đúng cách, bạn sẽ lãng phí tiền bạc và năng lượng để làm nóng thân máy thay vì làm nóng chính sản phẩm. Đó là sự lãng phí lớn.
Tận dụng tối đa mỗi tia sáng
Chúng ta cần chú ý đến yếu tố gọi là “hệ số phản chiếu”. Nói một cách đơn giản, chúng ta cần đảm bảo rằng ánh sáng từ đèn chiếu trực tiếp vào bề mặt tấm wafer. Bằng cách sử dụng các vật liệu được phủ vàng hoặc nhôm có độ tinh khiết cao, chúng ta có thể khiến 95% bức xạ hồng ngoại chiếu trực tiếp vào tấm wafer. Điều này giúp quy trình xử lý diễn ra nhanh hơn. Bạn không cần phải sử dụng lò nướng lớn chiếm mất một nửa diện tích phòng nữa.
Phù hợp với các nhà máy hiện đại
Nếu bạn đang vận hành một nhà máy thông minh, bạn cần có những dữ liệu đáng tin cậy. Khi bộ phận phản chiếu hoạt động đúng cách, mọi thứ sẽ trở nên đơn giản hơn. Năng lượng đưa vào sẽ được chuyển thành nhiệt độ trên bề mặt tấm wafer. Không cần phải đoán mò gì nữa. Điều này giúp việc điều khiển máy trở nên dễ dàng hơn.
Chúng tôi thiết kế các bộ phận phản chiếu sao cho có thể thay thế dễ dàng. Nhưng cần lưu ý: hãy kiểm tra độ chính xác của việc định vị chúng. Ngay cả một góc nghiêng nhỏ cũng có thể tạo ra những vùng lạnh trên bề mặt tấm wafer. Chỉ cần một sai sót nhỏ thôi cũng có thể khiến sản phẩm bị hỏng.
Nhược điểm của phương pháp này
Tuy nhiên, có một nhược điểm: khi tập trung nhiệt độ cao như vậy, vỏ đèn bằng thạch anh sẽ bị tổn thương nghiêm trọng. Bạn cần kiểm tra kỹ các quạt làm mát để đảm bảo chúng có thể xử lý được lượng nhiệt sinh ra. Nếu không, các linh kiện sẽ bị hỏng sớm hơn dự kiến. Hãy giữ cho các linh kiện luôn mát mẻ, và mọi thứ sẽ ổn thôi.